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龍圖騰網(wǎng)獲悉無(wú)錫迪思微電子有限公司申請(qǐng)的專(zhuān)利掩模版的圖形精度的確定方法以及確定裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115808849B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202111071159.9，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/20；該發(fā)明授權(quán)掩模版的圖形精度的確定方法以及確定裝置是由耿明春設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-09-13向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本掩模版的圖形精度的確定方法以及確定裝置在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N掩模版的圖形精度的確定方法以及確定裝置，掩模版中，第一坐標(biāo)標(biāo)識(shí)包括相互垂直的第一標(biāo)識(shí)塊以及第二標(biāo)識(shí)塊，第二坐標(biāo)標(biāo)識(shí)包括第三標(biāo)識(shí)塊以及第四標(biāo)識(shí)塊，第三標(biāo)識(shí)塊與第一標(biāo)識(shí)塊平行，第四標(biāo)識(shí)塊與第二標(biāo)識(shí)塊平行，該方法包括：獲取目標(biāo)標(biāo)識(shí)間距，目標(biāo)標(biāo)識(shí)間距為待測(cè)掩模版的標(biāo)識(shí)間距，標(biāo)識(shí)間距包括第一間距以及第二間距，第一間距為第三標(biāo)識(shí)塊與第一標(biāo)識(shí)塊的之間的最小距離，第二間距為第四標(biāo)識(shí)塊與第二標(biāo)識(shí)塊之間的最小距離；根據(jù)目標(biāo)標(biāo)識(shí)間距，確定目標(biāo)圖形偏移量，目標(biāo)圖形偏移量為待測(cè)掩模版的圖形偏移量，圖形偏移量為有效區(qū)域的實(shí)際位置與設(shè)計(jì)位置之間的差值。解決了現(xiàn)有技術(shù)中掩模版圖形精度的量測(cè)成本較高的問(wèn)題。

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