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龍圖騰網獲悉上海果納半導體技術有限公司申請的專利一種用于晶圓裝載機的晶圓傳送盒解鎖開門的系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114334754B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111676813.9，技術領域涉及：H01L21/673；該發明授權一種用于晶圓裝載機的晶圓傳送盒解鎖開門的系統是由張冬峰;葉瑩;祝佳輝設計研發完成，并于2021-12-31向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種用于晶圓裝載機的晶圓傳送盒解鎖開門的系統在說明書摘要公布了：本發明公開了一種用于晶圓裝載機的晶圓裝載盒解鎖開門的系統，包括晶圓裝載機的機架，在機架上開設交接口，且設置開門裝置，開門裝置包括取放組件、解鎖組件和交接板，取放組件與交接板固定連接，交接板與交接口對應設置，同時交接板與晶圓裝載盒的密封門對接，在交接板上設置解鎖組件，通過解鎖組件將晶圓裝載盒的密封門與盒體解鎖，取放組件通過驅動交接板與交接口的開合，進而實現通過交接口取放晶圓裝載盒的密封門。通過取放組件和解鎖組件的結合，限定開門裝置的運動路線，減少運動自由度，將需要三個驅動件完成的功能縮減為兩個，簡化空間結構，控制簡單，提高晶圓載入動作的可靠性，實現了晶圓裝載盒的密封門取放機構的模塊化設計。

本發明授權一種用于晶圓裝載機的晶圓傳送盒解鎖開門的系統在權利要求書中公布了：1.一種用于晶圓裝載機的晶圓傳送盒解鎖開門的系統，包括晶圓裝載機的機架，其特征在于：在所述機架上設置有裝載臺并開設交接口，且設置開門裝置，所述開門裝置包括取放組件、解鎖組件和交接板，所述取放組件包括脊板，所述脊板固定設置在機架上，且所述脊板上活動連接有脊桿，所述取放組件還包括驅動件，驅動件的兩端分別與裝載臺的底部和脊桿鉸接，所述交接板與脊桿固定連接，且所述交接板與交接口對應設置，同時交接板與晶圓裝載盒的密封門對接，所述交接板上設置解鎖組件，所述解鎖組件能將晶圓裝載盒的密封門與盒體解鎖，取放組件通過驅動交接板實現與交接口的開合，并通過交接口取放晶圓裝載盒的密封門； 所述脊板上開設滑槽，滑槽包括直滑槽部和弧滑槽部，所述直滑槽部和弧滑槽部通過過渡圓滑槽平滑連接，脊桿的中部設置導向軸，所述導向軸上安裝有滾動軸承，所述滾動軸承沿所述脊板上的滑槽內壁滾動，在驅動件的驅動作用下，通過直滑槽部對導向軸的導向作用，約束脊桿在上下運動過程中的擺動自由度，通過弧滑槽部對導向軸的導向作用，脊桿帶動交接板一起擺動，完成相對交接口的開合。

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