西安電子科技大學宋慶文獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉西安電子科技大學申請的專利一種三維條形元胞結構、制備方法及其器件獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114883384B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210325718.2,技術領域涉及:H10D62/10;該發明授權一種三維條形元胞結構、制備方法及其器件是由宋慶文;王溶;張玉明;湯曉燕;劉科宇;袁昊;陳利利;陳澤宇設計研發完成,并于2022-03-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種三維條形元胞結構、制備方法及其器件在說明書摘要公布了:本發明公開了一種三維條形元胞結構,包括:第一導電類型外延區,位于第一導電類型外延區內的第二導電類型阱區,位于第二導電類型阱區內的回形第一導電類型源區,以及位于回形第一導電類型源區內的第二導電類型體區;其中,沿水平方向,第一導電類型外延區、第二導電類型阱區、回形第一導電類型源區以及第二導電類型體區上均設有高度和寬度相同的若干凸起或者凹槽,以在條形元胞結構上形成若干一字型臺面結構或者若干一字型凹槽結構。該結構使得器件除了擁有平行于元胞表面的平行溝道外,還擁有垂直于元胞表面的垂直溝道,從而提升了溝道密度,降低了溝道的導通電阻,進而提升了器件的通流能力。
本發明授權一種三維條形元胞結構、制備方法及其器件在權利要求書中公布了:1.一種三維條形元胞結構,其特征在于,包括:第一導電類型外延區1,位于所述第一導電類型外延區1內的第二導電類型阱區2,位于所述第二導電類型阱區2內的回形第一導電類型源區3,以及位于回形第一導電類型源區3內的第二導電類型體區4;其中, 沿水平方向,所述第一導電類型外延區1、所述第二導電類型阱區2、所述回形第一導電類型源區3以及所述第二導電類型體區4上均設有寬度和高度相同的若干凸起或者凹槽,以在條形元胞結構上形成若干一字型臺面結構5a或者若干一字型凹槽結構5b。
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