深圳中科飛測科技股份有限公司陳魯獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉深圳中科飛測科技股份有限公司申請的專利一種光學檢測系統及圖像動態對準方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN117110311B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210540754.0,技術領域涉及:G01N21/95;該發明授權一種光學檢測系統及圖像動態對準方法是由陳魯;胡詩銘;張鵬斌;張嵩設計研發完成,并于2022-05-17向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種光學檢測系統及圖像動態對準方法在說明書摘要公布了:本申請涉及一種光學檢測系統及圖像動態對準方法,其中光學檢測系統主要包括位移臺、光源、反射鏡、調節機構、光電探測器和處理單元。技術方案利用調節機構可對反射鏡的姿態進行調節,如此能夠對探測圖像進行修正補償,利于解決因位移臺結構形變導致的圖像特征相對位移的問題;在系統的檢測掃描過程中,處理單元是依據探測圖像在垂直于掃描方向上的偏移值,來對反射鏡的平移量或偏轉量進行調節,從物理光學方面進行了圖像特征的位置偏移補償,可實現同一圖像特征的準確對準,從而消除位移臺結構形變的影響,利于提高系統對待測件表面異常區域檢出的靈敏度。
本發明授權一種光學檢測系統及圖像動態對準方法在權利要求書中公布了:1.一種光學檢測系統,其特征在于,包括: 位移臺,用于承載待測件; 光源,用于向所述位移臺上承載的待測件投射照明光,所述照明光用于投射到所述待測件的表面后產生第一反射光; 反射鏡,傾斜設于所述第一反射光的傳輸光路上,用于反射所述第一反射光以產生第二反射光,并將所述第二反射光投射到預設的探測位; 調節機構,用于通過平移所述反射鏡,或者偏轉所述反射鏡對所述反射鏡的姿態進行調節;所述反射鏡在被平移調節或被偏轉調節的過程中改變所述第二反射光的像點位置,其中,所述平移調節的方向與所述預設的掃描方向保持正交,所述偏轉調節形成的偏轉面的法線方向與所述預設的掃描方向保持一致或者平行; 光電探測器,設于所述探測位,用于沿預設的掃描方向探測所述第二反射光并產生對應的探測圖像; 處理單元,用于: 從所述光電探測器獲得所述探測圖像; 計算所述探測圖像相對于預設的標準圖像,在垂直于所述光電探測器的掃描方向上的偏移值;所述標準圖像為光學檢測初始時刻得到的探測圖像,或者為光學檢測過程中一時間點得到的探測圖像; 根據所述偏移值換算得到所述反射鏡的姿態調節量; 根據所述姿態調節量對所述調節機構進行控制,通過改變所述反射鏡的姿態對第二反射光的像點位置進行補償,使再次探測產生的探測圖像對準于所述標準圖像。
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