深圳市電通材料技術有限公司王銳勛獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉深圳市電通材料技術有限公司申請的專利一種散熱器件及其制備方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115360099B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202211006185.8,技術領域涉及:H01L21/48;該發明授權一種散熱器件及其制備方法是由王銳勛;王玉河設計研發完成,并于2022-08-22向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種散熱器件及其制備方法在說明書摘要公布了:本申請涉及散熱器件的生產工藝技術領域,具體而言,涉及一種散熱器件及其制備方法。散熱器件的制備方法包括在導體層表面的第一金屬層上依次電鍍形成第一中間層以及第一端層;其中,第一中間層包括圍設于第一區域的邊緣且具有第一灌注口的第一壁體結構,以使第一金屬層、第一中間層以及第一端層共同形成第一腔室;將第一金屬層與導體層分離;經第一灌注口向第一腔室內注入相變介質并封堵第一灌注口。本申請的散熱器件的制備方法可以一體成型制備出形狀任意、厚度任意且導熱系數高的具有腔室結構的散熱器件,制備工藝簡單,極大程度地擴寬了散熱器件的應用范圍。
本發明授權一種散熱器件及其制備方法在權利要求書中公布了:1.一種散熱器件的制備方法,其特征在于,包括: 提供表面形成有第一金屬層的導體層; 在所述第一金屬層上電鍍形成第一中間層;其中,所述第一中間層包括圍設于第一區域的邊緣的第一壁體結構;或,所述第一中間層包括圍設于第一區域的邊緣的第一壁體結構以及位于所述第一區域內的多個間隔分布的第一柱體結構;且所述第一壁體結構上具有第一灌注口; 形成所述第一中間層的步驟包括:在所述第一金屬層上覆蓋第一感光膜,曝光顯影后電鍍形成第二待電鍍圖形,所述第二待電鍍圖形即為與所述第一中間層形狀一致的凹槽結構,凹槽區域裸露出所述第一金屬層,對所述凹槽區域進行電鍍形成所述第一中間層; 在所述第一中間層上電鍍形成第一端層,其中,在形成所述第一端層前,先采用PVD的方式在所述第一中間層的遠離所述導體層的表面上形成第一連接金屬層,然后再在所述第一連接金屬層上電鍍形成所述第一端層,以使所述第一金屬層、所述第一中間層以及所述第一端層共同形成第一腔室; 將所述第一金屬層與所述導體層分離; 經所述第一灌注口向所述第一腔室內注入相變介質并封堵所述第一灌注口,其中,在向所述第一腔室內注入相變介質之前,還需要去除所述第一腔室內的感光膜。
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