株式會社日立高新技術小川博紀獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網獲悉株式會社日立高新技術申請的專利帶電粒子束裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116072491B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211239681.8，技術領域涉及：H01J37/20；該發明授權帶電粒子束裝置是由小川博紀;水落真樹;高橋宗大;加藤孝宜設計研發完成，并于2022-10-11向國家知識產權局提交的專利申請。
本帶電粒子束裝置在說明書摘要公布了：本發明提供了能夠準確且高速地定位頂臺相對于鏡筒的位置的平臺裝置以及具有該平臺裝置的帶電粒子束裝置。本發明所涉及的帶電粒子束裝置包括第一移動臺以及配置在所述第一移動臺的上方的第二移動臺，測量樣品室和所述第一移動臺之間的第一相對位置、所述樣品室和第二移動臺之間的第二相對位置以及所述鏡筒和所述樣品之間的第三相對位置，根據所述第一相對位置和所述第二相對位置，校正所述第一移動臺和所述第二移動臺之間的相對位置。
本發明授權帶電粒子束裝置在權利要求書中公布了：1.一種帶電粒子束裝置，對樣品照射帶電粒子束，其特征在于，包括： 樣品室； 相對于所述樣品室可向第一方向移動的第一移動臺； 相對于所述第一移動臺可在多個方向上移動的第二移動臺； 配置在所述第二移動臺的上方并對所述樣品照射所述帶電粒子束的鏡筒； 用于測量所述樣品室和所述第一移動臺之間的第一相對位置、所述樣品室和所述第二移動臺之間的第二相對位置、以及所述鏡筒和所述樣品之間的第三相對位置的位置檢測部；以及 驅動所述第一移動臺和所述第二移動臺的控制部， 所述控制部根據所述第一相對位置和所述第二相對位置，校正所述第一移動臺和所述第二移動臺之間的相對位置， 所述控制部獲取所述第二移動臺上的基準點處的所述第一相對位置、所述基準點處的所述第二相對位置和所述基準點處的所述第三相對位置的第一集合， 所述控制部使用所述第一集合計算所述基準點的已知坐標和所述基準點的坐標的測量值之間的偏移量， 所述控制部使用所述偏移量校正所述第二移動臺相對于所述第二移動臺的目標位置的位置偏差。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人株式會社日立高新技術，其通訊地址為：日本東京；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
以上內容由AI智能生成
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號