杭州富芯半導體有限公司李巖獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉杭州富芯半導體有限公司申請的專利晶圓靜電吸盤的檢測方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115980878B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211687056.X，技術領域涉及：G01V11/00；該發明授權晶圓靜電吸盤的檢測方法是由李巖;林豐文設計研發完成，并于2022-12-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本晶圓靜電吸盤的檢測方法在說明書摘要公布了：本申請提供一種晶圓靜電吸盤的檢測方法，先獲取伸縮接地針與晶圓靜電吸盤的表面齊平時的庫侖力閾值，以及伸縮接地針突出于晶圓靜電吸盤的表面的高度閾值，而后在無晶圓狀態下，采用壓力計獲取伸縮接地針與晶圓靜電吸盤的表面齊平時的壓力值，以及采用高度計獲取伸縮接地針突出于晶圓靜電吸盤的表面的高度值，并將獲取的高度值與高度閾值進行比對，以及將獲取的壓力值與庫侖力閾值進行比對，以對晶圓靜電吸盤進行檢測判定。本申請晶圓靜電吸盤的檢測方法，可成功檢查出是否能滿足工藝技術要求的晶圓靜電吸盤，從而大大減小產品報廢風險，提高設備的利用率。
本發明授權晶圓靜電吸盤的檢測方法在權利要求書中公布了：1.一種晶圓靜電吸盤的檢測方法，其特征在于，包括以下步驟： 提供晶圓靜電吸盤100，所述晶圓靜電吸盤100中設置有伸縮接地針300； 獲取所述伸縮接地針300與所述晶圓靜電吸盤100的表面齊平時的庫侖力閾值，以及獲取所述伸縮接地針300突出于所述晶圓靜電吸盤100的表面的高度閾值； 在無晶圓200狀態下，采用壓力計獲取所述伸縮接地針300與所述晶圓靜電吸盤100的表面齊平時的壓力值，以及采用高度計獲取所述伸縮接地針300突出于所述晶圓靜電吸盤100的表面的高度值； 將獲取的所述高度值與所述高度閾值進行比對，以及將獲取的所述壓力值與所述庫侖力閾值進行比對，以對所述晶圓靜電吸盤100中的所述伸縮接地針300是否處于正常狀態進行檢測判定。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人杭州富芯半導體有限公司，其通訊地址為：310000 浙江省杭州市濱江區西興街道聯慧街6號1-1301；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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