研微(江蘇)半導體科技有限公司嚴懷余獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉研微(江蘇)半導體科技有限公司申請的專利一種肋骨結構以及石英腔體組件獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN118639324B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202311858048.1，技術領域涉及：C30B25/10；該發明授權一種肋骨結構以及石英腔體組件是由嚴懷余;鄒湘;王菲;羅際蔚;卞達開設計研發完成，并于2023-12-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種肋骨結構以及石英腔體組件在說明書摘要公布了：本公開提供一種肋骨結構及石英腔體組件，所述肋骨結構包括多個肋條，多個所述肋條依次首尾連接形成多邊形的框架結構以套設在石英腔體的外側，所述肋骨結構中至少一個所述肋條的厚度設置為小于預定值或者至少一個所述肋條為厚度漸變結構。本公開實施例通過對肋條的結構實現調整以達到在滿足石英腔強度的前提下，降低肋板高度，從而降低鹵素燈在晶圓和支撐結構上形成的陰影，改善溫場。
本發明授權一種肋骨結構以及石英腔體組件在權利要求書中公布了：1.一種肋骨結構，其特征在于，所述肋骨結構包括多個肋條，多個所述肋條依次首尾連接形成多邊形的框架結構以套設在石英腔體的外側，所述石英腔體的截面為長方形，所述肋骨結構中至少一個所述肋條包括厚度漸變結構，所述肋條具有第一表面和與所述第一表面相對的第二表面，所述第一表面至少部分與所述石英腔體的外表面固定連接，且所述第一表面為平面，所述厚度漸變結構為所述肋條的厚度從其兩端向中間逐漸減小的結構，所述肋骨結構中的至少一個所述肋條的端部設置加強結構，所述加強結構使得所述肋條的端部的厚度相對于所述肋條其他位置的厚度較大和或使得所述肋條的端部的寬度相對于所述肋條其他位置的寬度較大。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人研微(江蘇)半導體科技有限公司，其通訊地址為：214124 江蘇省無錫市經濟開發區太湖街道震澤路688號太湖灣信息技術產業園1號樓2201-01；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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