中山智隆新材料科技有限公司鐘威平獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中山智隆新材料科技有限公司申請的專利一種用于濺射薄膜晶體管的摻雜IZO靶材及其制備方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN117865651B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202410049060.6,技術領域涉及:C04B35/01;該發明授權一種用于濺射薄膜晶體管的摻雜IZO靶材及其制備方法是由鐘威平;葛春橋;李強設計研發完成,并于2024-01-12向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種用于濺射薄膜晶體管的摻雜IZO靶材及其制備方法在說明書摘要公布了:本申請涉及濺射靶材技術領域,具體公開了一種用于濺射薄膜晶體管的摻雜IZO靶材及其制備方法。一種用于濺射薄膜晶體管的摻雜IZO靶材,包括多元氧化物粉末、粘結劑和增塑劑;所述多元氧化物粉末包括以下重量份的原料:氧化銦86?89.6份,氧化鋅9.5?12.8份,氧化鋯0.5?1.2份,氧化鉈0.1?0.4份,所述多元氧化物粉末的比表面積為8m2g?20m2g,松裝密度為0.91gcm3?1.55gcm3。本申請的用于濺射薄膜晶體管的摻雜IZO靶材,通過鋯、鉈元素添加到多元氧化物粉末中,利用氧化鉈低熔點形成液相反應,與氧化鋯形成低熔共晶物,和氧化銦、氧化鋅復配,能夠減少靶材氣孔率、降低靶材電阻率,進而提高濺射薄膜的電學和光學穩定性。
本發明授權一種用于濺射薄膜晶體管的摻雜IZO靶材及其制備方法在權利要求書中公布了:1.一種用于濺射薄膜晶體管的摻雜IZO靶材,其特征在于,包括多元氧化物粉末、粘結劑和增塑劑;所述多元氧化物粉末包括以下重量份的原料:氧化銦86-89.6份,氧化鋅9.5-12.8份,氧化鋯0.5-1.2份,氧化鉈0.1-0.4份,所述多元氧化物粉末的比表面積為8m2g-20m2g,松裝密度為0.91gcm3-1.55gcm3。
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