光科芯圖(北京)科技有限公司請求不公布姓名獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉光科芯圖(北京)科技有限公司申請的專利一種全息掩模信息生成方法、裝置、曝光設備及計算機可讀存儲介質獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN118778370B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202410296903.2，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權一種全息掩模信息生成方法、裝置、曝光設備及計算機可讀存儲介質是由請求不公布姓名設計研發完成，并于2024-03-15向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種全息掩模信息生成方法、裝置、曝光設備及計算機可讀存儲介質在說明書摘要公布了：本發明涉及光刻技術領域，特別涉及一種全息掩模信息生成方法、裝置、曝光設備及計算機可讀存儲介質。本發明提供的一種全息掩模信息生成方法，一種全息掩模信息生成方法，包括：獲取晶圓表面的初始強度信息，根據初始強度信息獲取晶圓表面的隨機相位信息；將初始強度信息和隨機相位信息進行模擬傳播處理和離散化處理以獲得離散化相位信息；受離散化相位信息調制后的入射光進行濾波處理后傳播到晶圓表面，并獲得晶圓表面的實際強度信息；基于實際強度信息和初始強度信息獲得梯度值；判斷梯度值是否小于或等于預設值，若是，則基于離散化相位信息和預設振幅值輸出全息掩模信息。解決了全息掩模在光刻過程中存在全息散斑的問題。
本發明授權一種全息掩模信息生成方法、裝置、曝光設備及計算機可讀存儲介質在權利要求書中公布了：1.一種全息掩模信息生成方法，其特征在于，包括： 獲取晶圓表面的初始強度信息，根據初始強度信息獲取晶圓表面的隨機相位信息； 將初始強度信息和隨機相位信息進行模擬傳播處理和離散化處理以獲得離散化相位信息； 受離散化相位信息調制后的入射光進行濾波處理后傳播到晶圓表面，并獲得晶圓表面的實際強度信息； 基于實際強度信息和初始強度信息獲得梯度值； 判斷梯度值是否小于或等于預設值； 若是，則基于離散化相位信息和預設振幅值輸出全息掩模信息； 若否，則將離散化相位信息作為隨機相位信息，并迭代將初始強度信息和隨機相位信息進行模擬傳播處理和離散化處理的過程。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人光科芯圖(北京)科技有限公司，其通訊地址為：100000 北京市大興區經濟技術開發區榮華中路22號院1號樓31層3101；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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