浙江求是半導體設備有限公司;浙江晶盛機電股份有限公司傅林堅獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉浙江求是半導體設備有限公司;浙江晶盛機電股份有限公司申請的專利一種晶片承載裝置及外延生長設備獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223329426U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202421780559.6，技術領域涉及：C30B25/12；該實用新型一種晶片承載裝置及外延生長設備是由傅林堅;劉毅;曹建偉;朱亮;魯沖昊設計研發完成，并于2024-07-25向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶片承載裝置及外延生長設備在說明書摘要公布了：本申請涉及晶片生長技術領域，公開了一種晶片承載裝置及外延生長設備，包括：旋轉機構、承載組件及升降機構，所述旋轉機構包括轉動內軸，所述轉動內軸具有繞自身軸線轉動的轉動自由度；所述承載組件與所述轉動內軸連接，可隨所述轉動內軸同步運動；所述升降機構包括：絲桿模組及升降底座，所述絲桿模組包括至少一移動件，所述移動件具有豎直方向的移動自由度，所述升降底座與所述移動件連接，用于安裝所述旋轉機構，所述升降底座可帶動所述旋轉機構隨所述移動件同步升降。解決了晶片反應面處氣體及溫度的均勻性的技術問題，達到提高晶片反應面處氣體及溫度的均勻性以提高外延生長加工質量的技術效果。
本實用新型一種晶片承載裝置及外延生長設備在權利要求書中公布了：1.一種晶片承載裝置，其特征在于，包括： 旋轉機構100，所述旋轉機構100包括轉動內軸110； 承載組件200，所述承載組件200與所述轉動內軸110連接，用于承載晶片300，所述承載組件200隨所述轉動內軸110同步運動；以及 升降機構400； 所述升降機構400包括： 絲桿模組410，所述絲桿模組410包括至少一移動件411，所述移動件411具有豎直方向的移動自由度；和 升降底座420，所述升降底座420與所述移動件411連接，所述升降底座420用于安裝所述旋轉機構100，所述升降底座420可帶動所述旋轉機構100隨所述移動件411同步升降。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人浙江求是半導體設備有限公司;浙江晶盛機電股份有限公司，其通訊地址為：311100 浙江省杭州市臨平區臨平街道順達路500號1幢102室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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