買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網獲悉北京航空航天大學申請的專利一種FIB-SEM雙束同步可控加工柔性材料的優化方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119626876B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411707281.4，技術領域涉及：H01J37/305；該發明授權一種FIB-SEM雙束同步可控加工柔性材料的優化方法是由李文萍;趙利榮;芮李鈺珩;李俊熠;劉丁旭;吳璇設計研發完成，并于2024-11-27向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種FIB-SEM雙束同步可控加工柔性材料的優化方法在說明書摘要公布了：本發明涉及FIB?SEM雙束同步可控加工柔性材料的優化方法及其用途。本發明的FIB?SEM雙束同步可控加工柔性材料的優化方法包括表面清潔步驟、掃描電子顯微鏡成像步驟、雙束對中調節步驟以及刻蝕步驟，所述刻蝕步驟中，離子束加工和電子束成像同時工作，電子束成像在預設加工圖形后且離子束開始加工前開啟，在加工完成后快速關斷。本發明的FIB?SEM雙束同步可控加工柔性材料的優化方法能夠避免材料由于高能粒子束轟擊生熱引起的變形，從而導致的性能降低，同時保持刻蝕過程的可靠性。

本發明授權一種FIB-SEM雙束同步可控加工柔性材料的優化方法在權利要求書中公布了：1.一種FIB-SEM雙束同步可控加工柔性材料的優化方法，其特征在于， 所述材料的熱導率為0.2WmK以下， 所述方法包括以下步驟： 表面清潔步驟：通過化學或者物理方法清潔所述材料的表面的步驟； 掃描電子顯微鏡成像步驟：將所述材料置于FIB-SEM雙束顯微鏡的樣品室內，調節掃描電子顯微鏡的加速電壓和束流進行表面成像，并選取特征點標記和調整物鏡電氣參數實現不同放大倍數下清晰成像，獲取所述材料的表面的初始形貌信息的步驟； 雙束對中調節步驟：在所述材料掃描電子顯微鏡清晰成像的基礎上，調節聚焦離子束的加速電壓和束流進行離子束成像，找到特征點標記和調節靜電透鏡的電氣參數實現不同放大倍數下清晰成像，然后反復切換聚焦離子束與掃描電子顯微鏡的成像窗口，保證相同放大倍數下特征點標記分別位于FIB像和SEM像的視野中心，找到聚焦離子束、掃描電子顯微鏡與所述材料的結合點，實現雙束對中調節； 刻蝕步驟：切換至離子束窗口預設加工圖形，調整聚焦離子束掃描方式、劑量和加工時間以及掃描電子顯微鏡的掃描方式，邊利用掃描電子顯微鏡對加工區域進行成像以實時觀測加工過程、形貌變化，邊利用聚焦離子束進行刻蝕加工； 所述刻蝕步驟中，離子束加工和電子束成像同時工作、電子束成像在預設加工圖形后且離子束開始加工前開啟， 所述刻蝕步驟中，離子束加工完成后快速關斷電子束成像。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京航空航天大學，其通訊地址為：100083 北京市海淀區學院路37號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。