微見智能封裝技術(深圳)有限公司廖雄暉獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉微見智能封裝技術(深圳)有限公司申請的專利一種固晶設備和固晶方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120164829B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510639703.7,技術領域涉及:H01L21/67;該發明授權一種固晶設備和固晶方法是由廖雄暉設計研發完成,并于2025-05-19向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種固晶設備和固晶方法在說明書摘要公布了:本發明涉及半導體固晶設備技術領域,特別涉及一種固晶設備和固晶方法。本發明提供的固晶設備,軌道模塊包括第一軌道和第二軌道,第二軌道沿上料模塊和下料模塊連線方向設置,第一軌道設置于上料模塊和第二軌道之間,并沿第一軌道寬度方向向下延伸;點膠模塊包括第一點膠機構和第二點膠機構,第一點膠機構設置于第一軌道遠離第二軌道一端;供晶模塊和中轉臺模塊位于第二軌道靠近第一點膠機構的側面,并與點膠模塊對應;貼裝綁頭模塊設置于第二軌道上方,貼裝綁頭模塊上設置有第二視覺檢測器和第二點膠機構。該固晶設備可以實現先點膠后識別,和先識別后點膠兩種工作模式,適應不同類型芯片的貼裝,具有更高的適用性。
本發明授權一種固晶設備和固晶方法在權利要求書中公布了:1.一種固晶設備,其特征在于:包括工作臺以及設置在工作臺上的上料模塊、軌道模塊、點膠模塊、供晶模塊、中轉臺模塊、貼裝綁頭模塊及下料模塊; 所述上料模塊和所述下料模塊分別設置于所述工作臺相對兩端,所述軌道模塊包括第一軌道和第二軌道,所述第二軌道沿所述上料模塊和所述下料模塊連線方向設置,所述第一軌道設置于所述上料模塊和所述第二軌道之間,并沿所述第二軌道寬度方向向下延伸; 所述點膠模塊包括第一點膠機構和第二點膠機構,所述第一點膠機構設置于所述第一軌道遠離所述第二軌道一端; 所述供晶模塊和所述中轉臺模塊位于所述第二軌道靠近所述第一點膠機構的側面; 所述貼裝綁頭模塊設置于所述第二軌道上方,所述貼裝綁頭模塊上設置有第二視覺檢測器和所述第二點膠機構,所述第二點膠機構和所述貼裝綁頭模塊同步移動; 所述固晶設備還包括控制模塊,所述控制模塊與所述軌道模塊、所述點膠模塊、所述供晶模塊、所述貼裝綁頭模塊、所述上料模塊、所述下料模塊和所述中轉臺模塊信號連接,所述上料模塊和或所述供晶模塊上設有檢測單元,所述檢測單元用于檢測基板和芯片的類型; 所述控制模塊根據所述檢測單元的檢測到的基板和芯片的類型控制所述第一點膠機構執行先點膠后識別的工作模式,或控制所述第二點膠機構執行先識別后點膠的工作模式; 所述先點膠后識別的工作模式包括以下步驟:點膠識別、點膠處理、貼裝識別、貼裝處理;所述先識別后點膠的工作模式包括以下步驟:貼裝識別、點膠處理、貼裝處理; 所述第二點膠機構和所述貼裝綁頭模塊基于所述第二視覺檢測器的一次檢測結果進行點膠處理和貼裝處理。
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