買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)獲悉浙江晶盛光子科技有限公司申請(qǐng)的專利一種反應(yīng)腔室和鍍膜工藝方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN120272882B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510764949.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C16/455；該發(fā)明授權(quán)一種反應(yīng)腔室和鍍膜工藝方法是由王樹林;仇大為;李玉設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-06-09向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種反應(yīng)腔室和鍍膜工藝方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供了一種反應(yīng)腔室，屬于鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，用于容置電池硅片，通過輸入工藝氣體對(duì)電池硅片進(jìn)行ALD鍍膜，所述反應(yīng)腔室包括：外腔體，所述外腔體構(gòu)建有一可容置工藝氣體的反應(yīng)腔，且所述工藝氣體在反應(yīng)腔內(nèi)形成一個(gè)反應(yīng)區(qū)，以對(duì)所述反應(yīng)區(qū)內(nèi)的電池硅片進(jìn)行鍍膜；加熱件，所述加熱件設(shè)置在反應(yīng)腔中，用于加熱所述反應(yīng)區(qū)內(nèi)的電池硅片；以及氣簾單元，所述氣簾單元通過在所述反應(yīng)腔中進(jìn)出氣體使得氣簾單元在所述反應(yīng)腔中形成氣簾，其中，所述氣簾設(shè)置在所述反應(yīng)區(qū)的外側(cè)，通過所述氣簾限制所述反應(yīng)區(qū)在所述反應(yīng)腔中的范圍；達(dá)到提高反應(yīng)腔室對(duì)電池硅片的加熱效率。

本發(fā)明授權(quán)一種反應(yīng)腔室和鍍膜工藝方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種反應(yīng)腔室，用于容置電池硅片，通過輸入工藝氣體對(duì)電池硅片進(jìn)行鍍膜，其特征在于，所述反應(yīng)腔室包括： 外腔體100，所述外腔體100構(gòu)建有一可容置工藝氣體的反應(yīng)腔，且所述工藝氣體在反應(yīng)腔內(nèi)形成一個(gè)反應(yīng)區(qū)700，以對(duì)所述反應(yīng)區(qū)700內(nèi)的電池硅片進(jìn)行鍍膜； 加熱件200，所述加熱件200設(shè)置在反應(yīng)腔中，所述加熱件200貼著反應(yīng)腔的內(nèi)壁設(shè)置，用于加熱所述反應(yīng)區(qū)700內(nèi)的電池硅片；以及 氣簾單元300，所述氣簾單元300通過在所述反應(yīng)腔中進(jìn)出氣體使得氣簾單元300在所述反應(yīng)腔中形成氣簾310，所述氣簾單元300位于所述加熱件（200）和所述反應(yīng)區(qū)700之間；其中，所述氣簾310設(shè)置在所述反應(yīng)區(qū)700的外側(cè)，通過所述氣簾310限制所述反應(yīng)區(qū)700在所述反應(yīng)腔中的范圍。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人浙江晶盛光子科技有限公司，其通訊地址為：311100 浙江省杭州市臨平區(qū)余杭經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)順達(dá)路500號(hào)1幢105室；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。