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龍圖騰網獲悉北京阿法龍科技有限公司申請的專利聯合測試系統、碳化硅超表面光柵檢測方法及測試裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120294016B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510788622.3，技術領域涉及：G01N21/95；該發明授權聯合測試系統、碳化硅超表面光柵檢測方法及測試裝置是由徐培培設計研發完成，并于2025-06-13向國家知識產權局提交的專利申請。

本聯合測試系統、碳化硅超表面光柵檢測方法及測試裝置在說明書摘要公布了：本發明公開了聯合測試系統、碳化硅超表面光柵檢測方法及測試裝置，屬于半導體檢測技術領域。通過調控光源與微波源生成協同激勵信號，施加于待測碳化硅超表面光柵形成光強與微波場干涉圖樣。多通道同步采集數據，經時間對齊、標記物特征提取及坐標映射構建多維矩陣，提取缺陷特征建立基準模型，計算偏離度判定質量，對缺陷光柵通過篩選異常點、構建候選區域及耦合驗證劃分潛在缺陷區域。針對潛在缺陷區域，以梯度下降算法動態調整激勵參數，結合特征缺陷度與面積劃分缺陷等級。本發明解決了單一模態檢測不足、多模態對齊精度低及激勵參數盲目調整問題，實現跨頻段協同檢測與智能分級，提升檢測可靠性。

本發明授權聯合測試系統、碳化硅超表面光柵檢測方法及測試裝置在權利要求書中公布了：1.聯合測試系統，其特征在于，包括 獲取光波激勵信號和微波激勵信號的初始激勵參數，調控光波源和微波源生成協同激勵信號，所述協同激勵信號用于施加于待測碳化硅超表面光柵以形成干涉圖樣； 通過探測器對所述干涉圖樣進行多通道同步多次采集，以獲取多個干涉圖樣數據并進行預處理，所述干涉圖樣數據包括光強分布數據與微波場強數據； 所述預處理用于對所述干涉圖樣數據進行時間維度對齊，并通過對所述待測碳化硅超表面光柵上配置的標記物進行特征點提取，以映射匹配干涉圖樣數據坐標，構建多維數據矩陣； 從所述多維數據矩陣中提取缺陷特征構建多維特征矩陣，通過建立特征基準模型，計算待測碳化硅超表面光柵的偏離度指標，以進行初步質量評估，對判定存在缺陷的待測碳化硅超表面光柵通過多輪次篩選穩定異常點、邊緣檢測構建候選缺陷連通域、進行區域生長并結合異常耦合性驗證劃分潛在缺陷區域； 若識別到潛在缺陷區域，則根據所述潛在缺陷區域的信息，動態調整光波激勵信號和微波激勵信號的初始激勵參數，以更新調整協同激勵信號調控干涉圖樣，獲取更新后的干涉圖樣數據并進行深度質量評估，以劃分缺陷等級。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京阿法龍科技有限公司，其通訊地址為：101300 北京市朝陽區景輝街31號院1號樓-6至57層101內2層201室34號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。