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龍圖騰網(wǎng)獲悉四川知微傳感技術(shù)有限公司申請的專利一種Z軸MEMS閉環(huán)加速度計(jì)組件和加速度計(jì)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN120334571B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號(hào)為：202510820307.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01P15/125；該發(fā)明授權(quán)一種Z軸MEMS閉環(huán)加速度計(jì)組件和加速度計(jì)是由范宏斌;王巖;張耿城;周瑞;張恒基;羅鵬設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-06-19向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種Z軸MEMS閉環(huán)加速度計(jì)組件和加速度計(jì)在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種Z軸MEMS閉環(huán)加速度計(jì)組件和加速度計(jì)，涉及微機(jī)械MEMS加速度計(jì)技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明的Z軸MEMS閉環(huán)加速度計(jì)采用閉環(huán)設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)包括基板、電極層和可動(dòng)結(jié)構(gòu)層，通過可動(dòng)結(jié)構(gòu)層中的檢測質(zhì)量塊的對(duì)稱設(shè)計(jì)和制造質(zhì)量差，將質(zhì)量大者同時(shí)作為檢測質(zhì)量塊和驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊使用，省去了傳統(tǒng)蹺蹺板結(jié)構(gòu)中獨(dú)立設(shè)置的驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊所占用面積，顯著減少了可動(dòng)結(jié)構(gòu)層的空間占用，增大了有效檢測面積，因此提升了檢測靈敏度。

本發(fā)明授權(quán)一種Z軸MEMS閉環(huán)加速度計(jì)組件和加速度計(jì)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種Z軸MEMS閉環(huán)加速度計(jì)組件，其特征在于，包括： 基板； 電極層，包括設(shè)于所述基板上的至少一對(duì)差分電容極板； 可動(dòng)結(jié)構(gòu)層，設(shè)于所述基板的上方，包括檢測質(zhì)量塊和扭轉(zhuǎn)梁，所述檢測質(zhì)量塊通過所述扭轉(zhuǎn)梁與所述基板鍵合；當(dāng)Z軸方向產(chǎn)生加速度信號(hào)時(shí)，所述檢測質(zhì)量塊相對(duì)所述扭轉(zhuǎn)梁面外運(yùn)動(dòng)，以在所述至少一對(duì)差分電容極板上形成差分檢測信號(hào)； 其中，所述檢測質(zhì)量塊分為相對(duì)所述扭轉(zhuǎn)梁對(duì)稱的第一檢測質(zhì)量塊和第二檢測質(zhì)量塊，所述第一檢測質(zhì)量塊的質(zhì)量大于所述第二檢測質(zhì)量塊的質(zhì)量，以使所述第一檢測質(zhì)量塊同時(shí)作為檢測質(zhì)量塊和驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊使用； 所述第二檢測質(zhì)量塊的背離所述基板的一側(cè)表面刻蝕有凹陷部，以使所述第一檢測質(zhì)量塊的質(zhì)量大于所述第二檢測質(zhì)量塊的質(zhì)量；凹陷部包括多個(gè)均勻的淺槽，淺槽的厚度小于所述檢測質(zhì)量塊的厚度； 所述檢測質(zhì)量塊的外周上蝕刻有阻尼孔或阻尼槽，所述阻尼孔或阻尼槽不占用檢測質(zhì)量塊 與差分電容極板的正對(duì)面積。

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