季華實驗室陳壘獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉季華實驗室申請的專利一種納米壓痕測試裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN120467870B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202510948102.4,技術(shù)領(lǐng)域涉及:G01N3/08;該發(fā)明授權(quán)一種納米壓痕測試裝置是由陳壘;戚威;湯烈明;李慧;呂林高;劉匯川;李小磊;伍德民設(shè)計研發(fā)完成,并于2025-07-10向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本一種納米壓痕測試裝置在說明書摘要公布了:本發(fā)明涉及納米壓痕測試技術(shù)領(lǐng)域,本發(fā)明公開了一種納米壓痕測試裝置,包括機架、壓痕測試機構(gòu)、載物臺、激光光源、密封腔室、氣氛模擬機構(gòu)和真空機構(gòu),其中壓痕測試機構(gòu)包括壓頭、驅(qū)動系統(tǒng)和測量系統(tǒng),壓頭沿垂直軸線運動;激光光源朝向載物臺;密封腔室與壓頭位于同一垂直軸線上,載物臺位于密封腔室內(nèi),壓頭從壓頭避讓口伸入密封腔室,密封腔室開設(shè)有激光避讓窗,激光避讓窗位于激光光路路徑上,密封腔室上還開設(shè)有氣體進(jìn)口和氣體出口。本發(fā)明通過激光光源直接作用于密封腔室內(nèi)的待測樣品,能夠?qū)崿F(xiàn)非接觸式局部加熱;通過密封腔室與氣氛模擬機構(gòu)、真空機構(gòu)的配合,待測樣品能夠在真空、惰性氣氛或特定工作氣氛條件下進(jìn)行測試。
本發(fā)明授權(quán)一種納米壓痕測試裝置在權(quán)利要求書中公布了:1.一種納米壓痕測試裝置,其特征在于,包括: 機架; 壓痕測試機構(gòu),所述壓痕測試機構(gòu)包括壓頭、驅(qū)動系統(tǒng)和測量系統(tǒng),所述壓頭安裝在機架上,所述壓頭沿垂直軸線運動,所述驅(qū)動系統(tǒng)與所述壓頭傳動連接,所述驅(qū)動系統(tǒng)用于驅(qū)動所述壓頭壓向或遠(yuǎn)離待測樣品,所述測量系統(tǒng)與所述壓頭電性連接,所述測量系統(tǒng)用于獲取壓痕測試信息; 載物臺,所述載物臺位于所述壓頭下方,所述載物臺用于放置待測樣品; 激光光源,所述激光光源安裝在所述機架上,所述激光光源朝向所述載物臺; 密封腔室,所述密封腔室安裝在所述機架上,所述密封腔室與所述壓頭位于同一垂直軸線上,所述密封腔室上設(shè)有可封閉的樣品出入口,所述載物臺位于所述密封腔室內(nèi),所述密封腔室頂部開設(shè)有壓頭避讓口,所述壓頭從所述壓頭避讓口伸入所述密封腔室,所述密封腔室開設(shè)有激光避讓窗,所述激光避讓窗用于避讓激光入射光路,所述密封腔室上還開設(shè)有氣體進(jìn)口和氣體出口; 氣氛模擬機構(gòu),所述氣氛模擬機構(gòu)通過所述氣體進(jìn)口與所述密封腔室連接,所述氣氛模擬機構(gòu)用于使所述密封腔室形成樣品所需的工作氣氛環(huán)境; 真空機構(gòu),所述真空機構(gòu)通過所述氣體出口與所述密封腔室連接,所述真空機構(gòu)用于抽出所述密封腔室內(nèi)氣體; 光路處理機構(gòu),所述光路處理機構(gòu)位于所述密封腔室內(nèi),所述光路處理機構(gòu)包括第一分光鏡、第二分光鏡、第三分光鏡、第一反光鏡、第二反光鏡、第三反光鏡和第四反光鏡,所述第一反光鏡、所述第二反光鏡、所述第三反光鏡和所述第四反光鏡分別位于所述載物臺的四周,所述激光光源的發(fā)射端朝向所述第一分光鏡,所述第一分光鏡用于將所述激光光源發(fā)射的激光轉(zhuǎn)發(fā)至所述第二分光鏡和所述第三分光鏡,所述第二分光鏡用于將所述第一分光鏡轉(zhuǎn)發(fā)的激光轉(zhuǎn)發(fā)至所述第一反光鏡和所述第二反光鏡,所述第三分光鏡用于將所述第一分光鏡轉(zhuǎn)發(fā)的激光轉(zhuǎn)發(fā)至所述第三反光鏡和所述第四反光鏡,所述第一反光鏡、所述第二反光鏡、所述第三反光鏡和所述第四反光鏡反射的激光匯聚至所述載物臺的置物區(qū)域;所述第一反光鏡、所述第二反光鏡、所述第三反光鏡和所述第四反光鏡采用對稱布局,能夠使激光能量從四個方向均勻覆蓋樣品表面。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人季華實驗室,其通訊地址為:528200 廣東省佛山市南海區(qū)桂城街道環(huán)島南路28號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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