株式會社三豐松浦心平獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉株式會社三豐申請的專利分析設備、分析方法、干涉測量系統和存儲介質獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN112629433B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202011033769.5,技術領域涉及:G01B11/24;該發明授權分析設備、分析方法、干涉測量系統和存儲介質是由松浦心平設計研發完成,并于2020-09-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本分析設備、分析方法、干涉測量系統和存儲介質在說明書摘要公布了:本發明涉及一種分析設備、分析方法、干涉測量系統和存儲介質。該分析設備200包括:獲取部210,用于從干涉測量設備獲取基于具有多個不同波長的光的多個干涉圖像;去除部230,用于通過去除多個干涉圖像中的各像素的干涉信號中所包含的非干涉分量來輸出干涉分量;轉換部240,用于通過對干涉分量進行希爾伯特變換來生成分析信號;以及計算部250,用于基于干涉分量和分析信號,通過指定照射到參考面132和測量對象物體10的表面上的光的波長的相位梯度,來計算參考面132和測量對象物體10的表面之間的距離。
本發明授權分析設備、分析方法、干涉測量系統和存儲介質在權利要求書中公布了:1.一種分析設備,用于分析波長掃描型干涉測量設備所生成的干涉圖像,所述干涉測量設備用于生成通過用具有多個不同波長的光照射參考面和測量對象物體的表面所反射的參考光和測量光的所述干涉圖像,所述分析設備包括: 獲取部,用于從所述干涉測量設備獲取基于具有所述多個不同波長的光的多個所述干涉圖像; 去除部,用于通過去除多個所述干涉圖像中的各像素的干涉信號中所包含的非干涉分量,來輸出干涉分量; 轉換部,用于通過對所述干涉分量進行希爾伯特變換,來生成分析信號;以及 計算部,用于基于所述干涉分量和所述分析信號,通過指定照射到所述參考面和所述測量對象物體的表面上的光的波長的相位梯度,來計算所述參考面和所述測量對象物體的表面之間的距離, 其中,所述計算部包括: 瞬時相位計算部,用于基于所述干涉分量和所述分析信號來計算所述干涉分量的瞬時相位; 相位梯度計算部,用于基于所述瞬時相位來計算所述干涉信號的相位梯度;以及 距離計算部,用于基于所述相位梯度,針對各像素來計算所述參考面和所述測量對象物體的表面之間的距離。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人株式會社三豐,其通訊地址為:日本神奈川縣;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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