中微半導體設備(上海)股份有限公司王智昊獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網獲悉中微半導體設備(上海)股份有限公司申請的專利一種接地環及其調節方法及等離子體處理裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114678247B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011547788.X，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權一種接地環及其調節方法及等離子體處理裝置是由王智昊;吳磊設計研發完成，并于2020-12-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種接地環及其調節方法及等離子體處理裝置在說明書摘要公布了：本發明提供了一種接地環及其調節方法及等離子體處理裝置，在接地環上設置連接體，通過調節連接體個數和或更換不同寬度的連接體和或調節所述連接體的可分離連接的端部與環體之間的間隙寬度，改善了射頻分布，有效的保證了刻蝕速率的均勻性。
本發明授權一種接地環及其調節方法及等離子體處理裝置在權利要求書中公布了：1.一種接地環，用于等離子體處理裝置，其特征在于，包括： 第一環體， 第二環體， 至少一個連接體，所述連接體具有第一端部及與第一端部相對的第二端部，所述第一端部與第一環體連接，所述第二端部與第二環體連接，其中，所述第一端部與第一環體可分離連接和或第二端部與第二環體可分離連接；所述至少一個連接體用于調節所述連接體在接地環的位置處的射頻功率分配比例； 其中，通過增加或減少所述連接體的個數和或更換不同寬度的連接體和或調節所述連接體的可分離連接的端部與環體之間的間隙寬度以調節所述射頻功率分配比例；所述接地環的材質為導體。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中微半導體設備(上海)股份有限公司，其通訊地址為：201201 上海市浦東新區金橋出口加工區（南區）泰華路188號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號