北京科益虹源光電技術有限公司殷青青獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉北京科益虹源光電技術有限公司申請的專利快速尋峰方法和快速測量激光波長的方法及裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115144087B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202110343963.1,技術領域涉及:G01J9/02;該發明授權快速尋峰方法和快速測量激光波長的方法及裝置是由殷青青;劉廣義;江銳;徐向宇設計研發完成,并于2021-03-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本快速尋峰方法和快速測量激光波長的方法及裝置在說明書摘要公布了:一種快速尋峰方法和快速測量激光波長的方法及裝置,快速尋峰方法包括:預先在待測激光要形成多級干涉條紋的焦平面上布置能量探測器組,能量探測器組包括緊密排列的M個能量探測器,M≥2,能量探測器組的探測覆蓋范圍至少等于相鄰兩級干涉條紋之間的距離。當待測激光在焦平面形成實際干涉條紋時,根據M個能量探測器的探測電壓高低分布確定目標尋峰區域,目標尋峰區域為M個能量探測器中特定能量探測器的位置所對應的尋峰區域。在目標尋峰區域內尋找實際干涉條紋的有效峰值位置。實現了對干涉條紋峰值區域的快速預判,實現了波長的實時、高速測量,有利于提高激光器工作時的波長穩定性,有助于提高光刻領域的準分子激光器的輸出光譜穩定性。
本發明授權快速尋峰方法和快速測量激光波長的方法及裝置在權利要求書中公布了:1.一種用于激光波長測量的快速尋峰方法,其特征在于,包括: 預先在待測激光要形成多級干涉條紋的焦平面上布置能量探測器組,所述能量探測器組包括緊密排列的M個能量探測器,M≥2,所述能量探測器組的探測覆蓋范圍至少等于相鄰兩級干涉條紋之間的距離,其中,所述M個能量探測器布置于1個級次的干涉條紋活動區域,所述級次的干涉條紋活動區域為波長測量范圍內的所有波長所對應的該級次的干涉條紋所處的位置區間; 當待測激光在所述焦平面形成實際干涉條紋時,根據所述M個能量探測器的探測電壓高低分布確定目標尋峰區域,所述目標尋峰區域為所述M個能量探測器中特定能量探測器的位置所對應的尋峰區域;以及 在所述目標尋峰區域內尋找所述實際干涉條紋的有效峰值位置。
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