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龍圖騰網獲悉中國科學院光電技術研究所申請的專利利用有機薄膜快速去除顆粒的方法和裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115642077B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211314786.5，技術領域涉及：H01L21/02；該發明授權利用有機薄膜快速去除顆粒的方法和裝置是由羅先剛;劉玲;趙澤宇;沈濤;張黨龍;陳麗娟;李夏楚秦設計研發完成，并于2022-10-25向國家知識產權局提交的專利申請。

本利用有機薄膜快速去除顆粒的方法和裝置在說明書摘要公布了：本公開提供了利用有機薄膜快速去除顆粒的方法和裝置，該方法包括：S1，將有機溶液涂覆于含待去除顆粒的材料基底表面，有機溶液至少包括高分子聚合物和溶劑；S2，烘烤材料基底，使有機溶液變黏稠從而包裹住顆粒，烘烤的溫度高于高分子聚合物的玻璃化轉變溫度；S3，待溫度降低后，S2中的有機溶液固化成有機薄膜；剝離有機薄膜，顆粒同時被去除。本公開的方法能夠一次性去除任意厚度、任意大小的材料基底表面的顆粒，顆粒去除效率高且顆粒去除率能達到93％以上，不需要使用大量的高純化學試劑，對材料基底表面沒有損傷，可適用于硅晶圓、介質和或金屬和或光敏材料覆蓋的硅晶圓、含圖形結構的硅晶圓、掩模等材料基底表面顆粒的去除。

本發明授權利用有機薄膜快速去除顆粒的方法和裝置在權利要求書中公布了：1.一種利用有機薄膜快速去除顆粒的方法，其特征在于，包括： S1，將有機溶液涂覆于含待去除顆粒的材料基底表面；其中，所述有機溶液至少包括高分子聚合物和溶劑； S2，烘烤所述材料基底，使所述有機溶液變黏稠從而包裹住所述顆粒；其中，所述烘烤的溫度高于所述高分子聚合物的玻璃化轉變溫度；所述烘烤的溫度范圍為50℃~100℃； S3，待溫度降低后，所述S2中的有機溶液固化成有機薄膜；剝離所述有機薄膜，所述顆粒同時被去除；剝離所述有機薄膜的方法包括撕扯剝離，所述撕扯剝離采用有粘附力的滾筒結構進行，所述結構包括： 粘附薄膜，在面向所述有機薄膜的一面具有粘附力，且粘附薄膜與所述有機薄膜之間的粘附力大于所述有機薄膜與所述材料基底之間的粘附力； 施測壓元件，用于下壓所述粘附薄膜使其接觸所述有機薄膜并測量施加于所述有機薄膜上的壓力值； 主動式滾筒，結合于所述粘附薄膜的一端，用于在所述壓力值達到設定值時帶動所述粘附薄膜使有機薄膜與材料基底分離； 被動式滾筒，結合于所述粘附薄膜的另一端，在所述粘附薄膜的帶動下隨所述主動式滾筒同步運動并提供新的粘附薄膜。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中國科學院光電技術研究所，其通訊地址為：610209 四川省成都市雙流350信箱；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。