中國科學院過程工程研究所;華陸工程科技有限責任公司張豪豪獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中國科學院過程工程研究所;華陸工程科技有限責任公司申請的專利一種新型三氯氫硅精餾工藝獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116639698B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202310570944.1，技術領域涉及：C01B33/107；該發明授權一種新型三氯氫硅精餾工藝是由張豪豪;鄭開學;陳錦溢;姚又省;丁哲;劉繼三;華超設計研發完成，并于2023-05-19向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種新型三氯氫硅精餾工藝在說明書摘要公布了：本發明提供了一種新型三氯氫硅精餾工藝，包括依次串聯的一級隔板精餾塔、二級反應精餾塔和三級隔板精餾塔。本發明工藝創新性的將反應精餾過程強化技術以及隔板精餾塔和差壓熱耦合精餾這兩種集成節能技術應用于三氯氫硅提純過程中，強化了各級精餾塔分離的強度。相較于傳統三氯氫硅精餾工藝，本發明工藝能耗低、投資小，且能有效的去除三氯氫硅中硼、磷、碳等雜質，使三氯氫硅產品品質滿足電子級二級及以上多晶硅的制備要求。
本發明授權一種新型三氯氫硅精餾工藝在權利要求書中公布了：1.一種新型三氯氫硅精餾工藝，包括依次串聯的一級隔板精餾塔、二級反應精餾塔和三級隔板精餾塔，通過增加一級隔板精餾塔的操作壓力從而提高塔頂蒸汽“品位”等級，作為熱源與三級隔板精餾塔塔釜液相進行換熱，以降低三氯氫硅精餾過程中的能耗，其特征在于，包括如下步驟： A、三氯氫硅原料進入一級隔板精餾塔中部，塔頂餾出液流入二級反應精餾塔上部，側線四氯化硅流入四氯化硅產品貯罐，塔釜釜液流入重組分雜質貯罐； B、在所述二級反應精餾塔中部引入氯氣，在塔內發生甲基二氯硅烷與氯氣的光氯化反應；塔頂汽相送往尾氣處理工段，塔釜釜液流入三級隔板精餾塔中部； C、三級隔板精餾塔塔頂餾出液流入低沸貯罐，側線高純三氯氫硅流入三氯氫硅產品貯罐，塔釜釜液流入高沸貯罐。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中國科學院過程工程研究所;華陸工程科技有限責任公司，其通訊地址為：100190 北京市海淀區中關村北二街1號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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