佛山市國星半導體技術有限公司陳鴻運獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉佛山市國星半導體技術有限公司申請的專利一種光刻曝光用卡塞獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223320747U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202323601521.6,技術領域涉及:G03F7/20;該實用新型一種光刻曝光用卡塞是由陳鴻運;崔永進;劉浩斌;范凱平設計研發完成,并于2023-12-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種光刻曝光用卡塞在說明書摘要公布了:本實用新型提供的光刻曝光用卡塞,包括第一側板和第二側板,所述第一側板和所述第二側板之間設有連接板,所述第一側板、所述第二側板和所述連接板圍成容納片源的安裝空間,所述安裝空間上方設有蓋板,所述蓋板與所述第一側板和所述第二側板相連并將所述安裝空間遮蓋完全。本實用新型提供的光刻曝光用卡塞能夠解決待曝光及曝光后片源被重復曝光的問題。
本實用新型一種光刻曝光用卡塞在權利要求書中公布了:1.一種光刻曝光用卡塞,其特征在于,包括第一側板和第二側板,所述第一側板和所述第二側板之間設有連接板,所述第一側板、所述第二側板和所述連接板圍成容納片源的安裝空間,所述安裝空間上方設有蓋板,所述蓋板與所述第一側板和所述第二側板相連并將所述安裝空間遮蓋完全; 所述蓋板與所述第一側板和所述第二側板通過卡扣連接可拆卸地相連; 所述第一側板和所述第二側板上設有固定孔,所述蓋板上設有凸起,所述凸起的設置位置和尺寸大小與所述固定孔相匹配。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人佛山市國星半導體技術有限公司,其通訊地址為:528200 廣東省佛山市南海區獅山鎮羅村朗沙廣東新光源產業基地內光明大道18號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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