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龍圖騰網(wǎng)獲悉光科芯圖(北京)科技有限公司申請的專利重載位移調(diào)節(jié)機構(gòu)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN120215213B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202311824375.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/20；該發(fā)明授權(quán)重載位移調(diào)節(jié)機構(gòu)是由黃征設(shè)計研發(fā)完成，并于2023-12-27向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本重載位移調(diào)節(jié)機構(gòu)在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種重載位移調(diào)節(jié)機構(gòu)，重載位移調(diào)節(jié)機構(gòu)包括：第一板體、第二板體及第三板體；第一浮動部，具有第一壓緊件；第一驅(qū)動件，輸出軸與第一連接部相接；第一連接部被第一壓緊件壓緊固定于第一板體；第一壓緊件的壓緊力可調(diào)；第二浮動部，具有第二壓緊件；第二驅(qū)動件，輸出軸與第二連接部相接；第二連接部被第二壓緊件壓緊固定于第二板體；第二壓緊件的壓緊力可調(diào)；本發(fā)明提供的重載位移調(diào)節(jié)機構(gòu)，驅(qū)動件與板體借助浮動部浮動連接，浮動部能夠通過松壓、增壓調(diào)節(jié)以解決在位移過程中遇到的卡頓、機械卡死，保證重載結(jié)構(gòu)位移調(diào)節(jié)的精密度，實現(xiàn)重載精密調(diào)節(jié)的目的，兼顧重載與高精度精密位移調(diào)節(jié)的需求。

本發(fā)明授權(quán)重載位移調(diào)節(jié)機構(gòu)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種重載位移調(diào)節(jié)機構(gòu)，其特征在于，包括： 至少部分地依次疊合并滑動連接的第一板體（1）和第二板體（2）； 第一浮動部（4），固定于所述第一板體（1），所述第一浮動部（4）具有第一壓緊件（41），所述第一壓緊件（41）的壓緊力可調(diào)； 第一驅(qū)動件（5），固定于所述第二板體（2），所述第一驅(qū)動件（5）的輸出軸與所述第一板體（1）浮動連接，適于驅(qū)動所述第一板體（1）沿第一方向移動； 第一連接部（6），與所述第一驅(qū)動件（5）相接；所述第一連接部（6）被所述第一壓緊件（41）抵壓并浮動連接于所述第一板體（1）； 正常狀態(tài)下，所述第一連接部（6）被所述第一壓緊件（41）壓緊固定于所述第一板體（1），所述第一驅(qū)動件（5）適于驅(qū)動所述第一板體（1）移動； 第一異常狀態(tài)下，所述第一壓緊件（41）調(diào)節(jié)作用在所述第一連接部（6）處的壓緊力，適于使所述第一連接部（6）與所述第一板體（1）之間松緩或重新壓緊； 第三板體（3），滑動連接于所述第二板體（2）背離所述第一板體（1）的一側(cè)； 第二浮動部（7），固定于所述第二板體（2），所述第二浮動部（7）具有第二壓緊件（71），所述第二壓緊件（71）的壓緊力可調(diào)； 第二驅(qū)動件（8），固定于所述第三板體（3），所述第二驅(qū)動件（8）的輸出軸與所述第二板體（2）浮動連接，適于驅(qū)動所述第二板體（2）及所述第一板體（1）沿第二方向移動； 第二連接部（9），與所述第二驅(qū)動件（8）相接；所述第二連接部（9）被所述第二壓緊件（71）抵壓并浮動連接于所述第二板體（2）； 正常狀態(tài)下，所述第二連接部（9）被所述第二壓緊件（71）壓緊固定于所述第二板體（2），所述第二驅(qū)動件（8）適于驅(qū)動所述第二板體（2）移動； 第一異常狀態(tài)下，所述第二壓緊件（71）調(diào)節(jié)作用在所述第二連接部（9）處的壓緊力，適于使所述第二連接部（9）與所述第二板體（2）之間松緩或重新壓緊。

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