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龍圖騰網(wǎng)獲悉濟南量子技術(shù)研究院;合肥國家實驗室申請的專利一種量子芯片清洗方法及清洗容器獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN118156121B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202410189491.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/02；該發(fā)明授權(quán)一種量子芯片清洗方法及清洗容器是由蔚魯昆;宿非凡;嚴凱;張海斌設(shè)計研發(fā)完成，并于2024-02-20向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種量子芯片清洗方法及清洗容器在說明書摘要公布了：本發(fā)明提出了一種量子芯片清洗方法及清洗容器，量子芯片清洗方法包括以下步驟：獲取UV膜和涂過保護膠的晶圓；在晶圓未涂有保護膠的一面粘貼所述UV膜，對所述晶圓沿預(yù)設(shè)的切割軌跡進行切割，且不劃透所述UV膜；將切割后得到的多個量子芯片進行裁切分組，相鄰的兩個所述量子芯片沿其之間的切割軌跡向所述UV膜的方向?qū)φ郏粚φ酆蟮膬蓚€量子芯片放入清洗容器中，將所述清洗容器浸泡至去膠液中；所述UV膜脫落后，將脫落的所述UV膜取出，對所述量子芯片進行依次進行清洗烘干。本發(fā)明的量子芯片清洗方法避免了手動操作過程中工具過多的接觸芯片，有效保護量子芯片。

本發(fā)明授權(quán)一種量子芯片清洗方法及清洗容器在權(quán)利要求書中公布了：1.一種量子芯片清洗方法，其特征在于，包括以下步驟： 獲取UV膜和涂過保護膠的晶圓； 在晶圓未涂有保護膠的一面粘貼所述UV膜，對所述晶圓沿預(yù)設(shè)的切割軌跡進行切割，且不劃透所述UV膜； 將切割后得到的多個量子芯片進行裁切分組，相鄰的兩個所述量子芯片沿其之間的切割軌跡向所述UV膜的方向?qū)φ郏?將對折后的兩個量子芯片沿著清洗容器的隔板插入所述清洗容器的盒體中，將所述清洗容器浸泡至去膠液中； 所述UV膜脫落后，將脫落的所述UV膜取出，對所述量子芯片進行依次進行清洗烘干。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人濟南量子技術(shù)研究院;合肥國家實驗室，其通訊地址為：250101 山東省濟南市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)舜華路747號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。