武漢大學熊澤暢獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉武漢大學申請的專利一種可激發純橫波的ZnO壓電涂層材料及其制備方法和應用獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119615085B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411673313.3，技術領域涉及：C23C14/35；該發明授權一種可激發純橫波的ZnO壓電涂層材料及其制備方法和應用是由熊澤暢;姜楊慧;楊兵;張俊設計研發完成，并于2024-11-21向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種可激發純橫波的ZnO壓電涂層材料及其制備方法和應用在說明書摘要公布了：本發明公開了一種可激發純橫波的ZnO壓電涂層材料及其制備方法和應用，屬于涂層材料領域。所述方法包括：以Zn作為靶材，通過磁控濺射在基體表面沉積ZnO作為ZnO壓電功能層；所述磁控濺射中，濺射溫度為200℃以上，通入氬氣和氧氣的混合氣體至腔體內氣壓為1.0~2.5Pa，濺射功率為400~700W，濺射時間為3~6h；或，所述磁控濺射中，濺射溫度為50~200℃，通入氬氣和氧氣的混合氣體至腔體內氣壓為1.0~2.5Pa，偏壓為?100V~?200V，濺射功率為400~700W，濺射時間為3~6h。本發明采用磁控濺射技術在基體表面沉積ZnO作為ZnO壓電功能層，通過調節磁控濺射過程中的濺射溫度或偏壓，制備出可激發超聲純橫波的ZnO壓電涂層材料，實現對工件厚度細微變化的測量。
本發明授權一種可激發純橫波的ZnO壓電涂層材料及其制備方法和應用在權利要求書中公布了：1.一種可激發純橫波的ZnO壓電涂層材料的制備方法，其特征在于，包括： 以Zn作為靶材，控制基體的位置正對靶材的中心，通過磁控濺射在基體表面沉積ZnO作為ZnO壓電功能層； 所述磁控濺射中，濺射溫度為210~250℃，通入氬氣和氧氣的混合氣體至腔體內氣壓為1.0~2.5Pa，氬氣和氧氣的流量比為1:1，濺射功率為400~700W，濺射時間為3~6h； 或，所述磁控濺射中，濺射溫度為50~200℃，通入氬氣和氧氣的混合氣體至腔體內氣壓為1.0~2.5Pa，氬氣和氧氣的流量比為1:1，偏壓為-100V~-200V，濺射功率為400~700W，濺射時間為3~6h。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人武漢大學，其通訊地址為：430072 湖北省武漢市武昌區八一路299號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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