盛吉盛半導體技術(上海)有限公司張迎晨獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉盛吉盛半導體技術(上海)有限公司申請的專利一種真空腔室氦檢裝置獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223319991U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422857643.X，技術領域涉及：G01M3/20；該實用新型一種真空腔室氦檢裝置是由張迎晨;崔凡振設計研發完成，并于2024-11-22向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種真空腔室氦檢裝置在說明書摘要公布了：本申請屬于真空設備技術領域，公開一種真空腔室氦檢裝置，包括：檢漏真空總管，與氦檢儀連接；多個檢漏真空支管，連接于檢漏真空總管與各真空腔室之間；檢漏角閥，連接在所述檢漏真空支管與對應真空腔室之間，用于控制檢漏真空支管與各個真空腔室之間的通斷。本申請不需要拆裝波紋管，當任意一真空腔室需要氦檢時，使用控制單元控制檢漏角閥打開，從而使得氦檢儀與被檢測的真空腔室連通，再進行氦檢操作。由于無需重復拆裝波紋管以及進行抽氣和充氣操作，增加工作效率。
本實用新型一種真空腔室氦檢裝置在權利要求書中公布了：1.一種真空腔室氦檢裝置，其特征在于，包括： 檢漏真空總管，與氦檢儀連接； 多個檢漏真空支管，連接于檢漏真空總管與各真空腔室之間； 檢漏角閥，連接在所述檢漏真空支管與對應真空腔室之間，用于控制檢漏真空支管與對應真空腔室之間的通斷。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人盛吉盛半導體技術(上海)有限公司，其通訊地址為：200120 上海市浦東新區(上海)自由貿易試驗區臨港新片區麗正路1628號4幢1-2層；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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