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龍圖騰網(wǎng)獲悉哈爾濱工業(yè)大學(xué);上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司申請的專利一種光闌運(yùn)動(dòng)裝置及其掃描運(yùn)動(dòng)方法、曝光裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119575765B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號(hào)為：202411840075.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/20；該發(fā)明授權(quán)一種光闌運(yùn)動(dòng)裝置及其掃描運(yùn)動(dòng)方法、曝光裝置是由吳劍威;周永松;鄭健;張玉榮設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-12-13向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種光闌運(yùn)動(dòng)裝置及其掃描運(yùn)動(dòng)方法、曝光裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供了一種光闌運(yùn)動(dòng)裝置及其掃描運(yùn)動(dòng)方法、曝光裝置，涉及半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，裝置包括相連接的運(yùn)動(dòng)組件和質(zhì)量平衡組件，運(yùn)動(dòng)組件包括第一導(dǎo)軌、第一滑塊、第二滑塊、第一驅(qū)動(dòng)件和第二驅(qū)動(dòng)件，質(zhì)量平衡組件包括第一導(dǎo)軌、第三滑塊、第四滑塊、第一驅(qū)動(dòng)件和第二驅(qū)動(dòng)件，第一驅(qū)動(dòng)件和第三驅(qū)動(dòng)件電連接于第一控制電路中，第二驅(qū)動(dòng)件和第四驅(qū)動(dòng)件電連接于第二控制電路中。該裝置結(jié)構(gòu)簡單，第三滑塊和第四滑塊可分別隨第一滑塊和第二滑塊的運(yùn)動(dòng)進(jìn)行無延遲地同步反向運(yùn)動(dòng)，相較于現(xiàn)有技術(shù)，該裝置的設(shè)計(jì)減少了對復(fù)雜控制算法的需求，具有更快的響應(yīng)速度，可以更及時(shí)地實(shí)現(xiàn)反力平衡。

本發(fā)明授權(quán)一種光闌運(yùn)動(dòng)裝置及其掃描運(yùn)動(dòng)方法、曝光裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種光闌運(yùn)動(dòng)裝置，其特征在于，包括相連接的運(yùn)動(dòng)組件和質(zhì)量平衡組件； 所述運(yùn)動(dòng)組件包括： 第一導(dǎo)軌11，沿第一方向延伸設(shè)置； 運(yùn)動(dòng)單元，包括可滑動(dòng)設(shè)于所述第一導(dǎo)軌11的第一滑塊12和第二滑塊13，所述第一滑塊12和所述第二滑塊13沿所述第一方向間隔設(shè)置，所述第一滑塊12和所述第二滑塊13上均設(shè)有光闌片14； 第一驅(qū)動(dòng)件和第二驅(qū)動(dòng)件，用于分別驅(qū)使所述第一滑塊12和所述第二滑塊13在所述第一導(dǎo)軌11上沿所述第一方向運(yùn)動(dòng)； 所述質(zhì)量平衡組件包括： 第二導(dǎo)軌21，與所述第一導(dǎo)軌11平行且與所述第一導(dǎo)軌11在第二方向上對稱設(shè)置，所述第一方向與所述第二方向垂直； 質(zhì)量平衡單元，包括可滑動(dòng)設(shè)于所述第二導(dǎo)軌21的第三滑塊22和第四滑塊23，所述第三滑塊22和所述第四滑塊23沿所述第一方向間隔設(shè)置； 第三驅(qū)動(dòng)件和第四驅(qū)動(dòng)件，用于分別驅(qū)使所述第三滑塊22和所述第四滑塊23在所述第二導(dǎo)軌21上沿所述第一方向運(yùn)動(dòng)； 所述第一驅(qū)動(dòng)件和所述第三驅(qū)動(dòng)件電連接于第一控制電路中，所述第一控制電路用于控制所述第一驅(qū)動(dòng)件和所述第三驅(qū)動(dòng)件同步產(chǎn)生大小相等且方向相反的驅(qū)動(dòng)力；所述第二驅(qū)動(dòng)件和所述第四驅(qū)動(dòng)件電連接于第二控制電路中，所述第二控制電路用于控制所述第三驅(qū)動(dòng)件和所述第四驅(qū)動(dòng)件同步產(chǎn)生大小相等且方向相反的驅(qū)動(dòng)力。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人哈爾濱工業(yè)大學(xué);上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司，其通訊地址為：150000 黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)西大直街92號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。