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龍圖騰網(wǎng)獲悉杭州星原馳半導(dǎo)體有限公司申請的專利一種固態(tài)前驅(qū)體輸送系統(tǒng)和方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119932535B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號(hào)為：202510185650.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C16/455；該發(fā)明授權(quán)一種固態(tài)前驅(qū)體輸送系統(tǒng)和方法是由樸載成;陳培杰;邵大立;林男奎;金榮寬;齊彪;史皓然;陳揚(yáng);夏智興設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-02-20向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種固態(tài)前驅(qū)體輸送系統(tǒng)和方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種固態(tài)前驅(qū)體輸送系統(tǒng)和方法，包括前驅(qū)體源瓶、源瓶閥組、前驅(qū)體預(yù)氣化管路、緩存器、惰性氣體管路、第一預(yù)熱裝置、第一質(zhì)量流量計(jì)、第二預(yù)熱裝置和反應(yīng)腔體，源瓶閥組安裝在前驅(qū)體源瓶的出入端上，前驅(qū)體預(yù)氣化管路與源瓶閥組的出口端相連接，前驅(qū)體預(yù)氣化管路和惰性氣體管路分別與緩存器的兩進(jìn)氣端連接，緩存器通過管道與反應(yīng)腔體連接，第一預(yù)熱裝置、第一質(zhì)量流量計(jì)、第二預(yù)熱裝置均安裝在管道上，第一預(yù)熱裝置位于第一質(zhì)量流量計(jì)的前端，第二預(yù)熱裝置位于第一質(zhì)量流量計(jì)的后端，第二預(yù)熱裝置位于反應(yīng)腔體的入口端，解決了固態(tài)前驅(qū)體升華不充分會(huì)堵塞管路和進(jìn)入反應(yīng)器前未完全氣化的前驅(qū)體顆粒會(huì)對(duì)工藝腔體造成污染的問題。

本發(fā)明授權(quán)一種固態(tài)前驅(qū)體輸送系統(tǒng)和方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種固態(tài)前驅(qū)體輸送系統(tǒng)，包括前驅(qū)體源瓶1、源瓶閥組2、前驅(qū)體預(yù)氣化管路3、緩存器4、惰性氣體管路5、第一預(yù)熱裝置6、第一質(zhì)量流量計(jì)7、第二預(yù)熱裝置8和反應(yīng)腔體9，其特征在于，所述源瓶閥組2安裝在所述前驅(qū)體源瓶1的出入端上，所述前驅(qū)體預(yù)氣化管路3與所述源瓶閥組2的出口端相連接，所述緩存器4設(shè)有兩個(gè)進(jìn)氣端，所述前驅(qū)體預(yù)氣化管路3和所述惰性氣體管路5分別與所述緩存器4的兩進(jìn)氣端連接，所述緩存器4通過管道與所述反應(yīng)腔體9連接，所述第一預(yù)熱裝置6、第一質(zhì)量流量計(jì)7、第二預(yù)熱裝置8均安裝在管道上，所述第一預(yù)熱裝置6位于所述第一質(zhì)量流量計(jì)7的前端，所述第二預(yù)熱裝置8位于所述第一質(zhì)量流量計(jì)7的后端，所述第二預(yù)熱裝置8位于所述反應(yīng)腔體9的入口端，所述的第一預(yù)熱裝置6和第二預(yù)熱裝置8的結(jié)構(gòu)相同；所述第一預(yù)熱裝置6包括氣流通道61，加熱絲62和反射板63，所述氣流通道61的腔體為可透光的石英材質(zhì)，所述氣流通道61內(nèi)設(shè)置有交錯(cuò)的擋板64，所述擋板64焊接在所述氣流通道61上，所述加熱絲62設(shè)置在氣流通道61的兩側(cè)，所述反射板63設(shè)置在加熱絲62的外側(cè)，所述加熱絲62產(chǎn)生熱輻射傳遞給所述氣流通道61內(nèi)的工藝氣體，所述氣流通道61上還設(shè)置有溫度傳感器。

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