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龍圖騰網獲悉中用科技有限公司申請的專利基于FOUP內層間AMC分布的晶圓制程環節污染源識別方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120408106B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510921587.8，技術領域涉及：G06F18/20；該發明授權基于FOUP內層間AMC分布的晶圓制程環節污染源識別方法是由胡增;江大白;賈瑋民;許克成設計研發完成，并于2025-07-04向國家知識產權局提交的專利申請。

本基于FOUP內層間AMC分布的晶圓制程環節污染源識別方法在說明書摘要公布了：本發明公開了基于FOUP內層間AMC分布的晶圓制程環節污染源識別方法，涉及污染源識別技術領域，該方法包括：分析氣流擾動與污染物擴散特征，制定外部檢測器部署策略，并實時采集污染物濃度與關聯設備運行參數；建立污染物濃度的時空矩陣，并利用小波變換提取污染物濃度變化的梯度特征，結合關聯設備的運行參數，獲取污染源的初步位置數據；構建時空網格化輸入矩陣，并設計雙分支深度學習模型，生成污染源定位概率圖，獲取污染源的位置數據；評估各關聯設備對污染物擴散的貢獻權重，制定并執行定向治理策略。本發明可以準確地定位污染源位置，提高污染源識別的準確性和響應速度。

本發明授權基于FOUP內層間AMC分布的晶圓制程環節污染源識別方法在權利要求書中公布了：1.基于FOUP內層間AMC分布的晶圓制程環節污染源識別方法，其特征在于，該方法包括： S1、根據運輸盒的內部空間與晶圓層級擺放，分析氣流擾動與污染物擴散特征，制定外部檢測器部署策略，并實時采集污染物濃度與關聯設備運行參數； S2、建立污染物濃度的時空矩陣，并利用小波變換提取污染物濃度變化的梯度特征，結合關聯設備的運行參數，獲取污染源的初步位置數據； S3、構建時空網格化輸入矩陣，并設計雙分支深度學習模型，生成污染源定位概率圖，獲取污染源的位置數據； S4、基于污染源的位置數據，評估各關聯設備對污染物擴散的貢獻權重，制定并執行定向治理策略； 所述S1包括： S11、基于運輸盒的內部空間，建立參數化的幾何模型，設定流體邊界條件并運行計算流體動力學仿真，獲取基準氣流場及污染物擴散特征數據，以構建數字孿生模型； S12、結合晶圓層級擺放，設計初始外部檢測器部署策略，并采集各層級初始污染物濃度、氣流速度及關聯設備運行參數，建立時空關聯的污染分布基線； S13、結合建立的污染分布基線與構建的數字孿生模型，利用對抗遷移學習算法對數字孿生模型進行優化； S14、利用依據優化后的數字孿生模型預測污染物的時空分布特征，并結合多臂老虎機算法更新初始外部檢測器部署策略，獲取最終的外部檢測器部署策略； S15、執行最終的外部檢測器部署策略，并實時采集污染物濃度及關聯設備運行參數。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中用科技有限公司，其通訊地址為：230601 安徽省合肥市經濟技術開發區宿松路3963號智能裝備科技園E棟12層；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。