湖南旺坤管業有限公司成志堅獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉湖南旺坤管業有限公司申請的專利一種基于耐腐蝕性合金靶材的金屬管道濺射涂層方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120443125B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510940406.6,技術領域涉及:C23C14/35;該發明授權一種基于耐腐蝕性合金靶材的金屬管道濺射涂層方法是由成志堅;成志立;盛行設計研發完成,并于2025-07-09向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種基于耐腐蝕性合金靶材的金屬管道濺射涂層方法在說明書摘要公布了:本發明涉及金屬管道表面處理技術領域,公開一種基于耐腐蝕性合金靶材的金屬管道濺射涂層方法,包括:向合金靶材施加第一脈沖序列濺射金屬原子,向金屬管道施加第二脈沖序列,并嚴格同步兩序列使負電壓脈沖僅在靶材功率低谷期施加,利用濺射產生的金屬離子轟擊致密化沉積層。本發明通過時序解耦金屬原子沉積與離子轟擊步驟,從根本上解決了傳統連續偏壓導致的再濺射矛盾,實現了鍍膜速率與膜層質量的獨立調控,同時通過閉環反饋機制確保工藝穩定性,顯著提升了涂層性能的一致性和可靠性。
本發明授權一種基于耐腐蝕性合金靶材的金屬管道濺射涂層方法在權利要求書中公布了:1.一種基于耐腐蝕性合金靶材的金屬管道濺射涂層方法,其特征在于,所述方法包括以下步驟: 步驟a,提供一個磁控濺射設備,設備中同軸設置有耐腐蝕性合金靶材和待鍍金屬管道,合金靶材連接第一脈沖電源,金屬管道連接第二脈沖電源; 步驟b,設定第一脈沖電源以第一脈沖序列向合金靶材輸出高功率脈沖電流,第一脈沖序列具有導通期和關斷期; 步驟c,在第一脈沖序列的導通期內,濺射合金靶材產生中性金屬原子,中性金屬原子沉積在金屬管道的表面形成膜層; 步驟d,設定第二脈沖電源以第二脈沖序列向金屬管道輸出負電壓脈沖,第二脈沖序列與第一脈沖序列嚴格同步且相位相反; 步驟e,在第一脈沖序列的關斷期內,施加第二脈沖序列的每一個負電壓脈沖至金屬管道,負電壓脈沖將由步驟c濺射產生的且在關斷期內仍存留于空間的金屬離子加速轟擊到膜層表面。
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