珠海誠鋒電子科技有限公司孫元宏獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉珠海誠鋒電子科技有限公司申請的專利一種晶圓六面檢測自動對焦方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120475258B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510969452.9,技術領域涉及:H04N23/67;該發明授權一種晶圓六面檢測自動對焦方法是由孫元宏;許金誠;陳杰設計研發完成,并于2025-07-15向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶圓六面檢測自動對焦方法在說明書摘要公布了:本發明公開一種晶圓六面檢測自動對焦方法,包括:通過上料XYR平臺校正晶粒位置,并獲取待檢測的晶粒圖像;根據待檢測的晶粒圖像,使用霍夫變換算法將晶粒的邊緣輪廓中的邊緣點轉換為幾何參數,計算晶粒的位置補償值;根據晶粒的光學特性、光線偏折角度和入射光強度,確定待檢測晶粒正面背面檢測工位的最佳焦點位置,并對焦模組進行焦點位置調整;根據晶粒的位置補償值,控制電動滑臺搭載光學相機運動到位并對焦成像;通過對比實際檢測數據與折射偏差修正模型、晶粒正面背面焦點調整模型的預測結果,評估并優化模型的準確性。本發明有效解決了傳統技術中的位置誤差、光學特性差異和折射偏差等問題,實現了高效、精準的晶粒檢測。
本發明授權一種晶圓六面檢測自動對焦方法在權利要求書中公布了:1.一種晶圓六面檢測自動對焦方法,其特征在于,所述方法包括: 通過上料XYR平臺校正晶粒位置,并使用上料中轉模組將晶粒移動至第二上料邦頭的取料位置,獲取待檢測的晶粒圖像; 根據待檢測的晶粒圖像,使用霍夫變換算法將晶粒的邊緣輪廓中的邊緣點轉換為幾何參數,計算晶粒的位置補償值; 根據晶粒的光學特性、光線偏折角度和入射光強度,確定待檢測晶粒正面背面檢測工位的最佳焦點位置,并對焦模組進行焦點位置調整; 根據晶粒的位置補償值,控制電動滑臺搭載光學相機運動到位并對焦成像; 通過對比實際檢測數據與折射偏差修正模型、晶粒正面背面焦點調整模型的預測結果,評估并優化模型的準確性。
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