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龍圖騰網(wǎng)獲悉華僑大學(xué)申請(qǐng)的專利一種碳化硅襯底研磨材料去除率的預(yù)測(cè)方法及裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN120470947B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510968678.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G06F30/27；該發(fā)明授權(quán)一種碳化硅襯底研磨材料去除率的預(yù)測(cè)方法及裝置是由鄧朝暉;宋子豪;楊曉;卓榮錦;葛旭東設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-07-15向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種碳化硅襯底研磨材料去除率的預(yù)測(cè)方法及裝置在說(shuō)明書摘要公布了：本申請(qǐng)?zhí)峁┑囊环N碳化硅襯底研磨材料去除率的預(yù)測(cè)方法及裝置，方法包括：對(duì)所獲取的歷史工藝試驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合，構(gòu)建經(jīng)驗(yàn)材料去除率預(yù)測(cè)模型；響應(yīng)于修正請(qǐng)求，采集研磨過(guò)程動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)；利用訓(xùn)練好的XGBoost動(dòng)態(tài)修正模型，基于研磨過(guò)程動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的待測(cè)特征參數(shù)進(jìn)行預(yù)測(cè)，得到動(dòng)態(tài)修正量；基于動(dòng)態(tài)修正量，更新經(jīng)驗(yàn)材料去除率預(yù)測(cè)模型中的經(jīng)驗(yàn)系數(shù)，得到修正后的所述經(jīng)驗(yàn)材料去除率預(yù)測(cè)模型；通過(guò)修正后的經(jīng)驗(yàn)材料去除率預(yù)測(cè)模型，計(jì)算研磨過(guò)程動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的去除率預(yù)測(cè)值。本發(fā)明通過(guò)XGBoost模型預(yù)測(cè)動(dòng)態(tài)修正量更新經(jīng)驗(yàn)系數(shù)，實(shí)現(xiàn)去除率預(yù)測(cè)值預(yù)測(cè)，提升研磨工藝的預(yù)測(cè)精度和過(guò)程控制水平。

本發(fā)明授權(quán)一種碳化硅襯底研磨材料去除率的預(yù)測(cè)方法及裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種碳化硅襯底研磨材料去除率的預(yù)測(cè)方法，其特征在于，包括： 對(duì)所獲取的歷史工藝試驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合，構(gòu)建經(jīng)驗(yàn)材料去除率預(yù)測(cè)模型； 響應(yīng)于修正請(qǐng)求，采集研磨過(guò)程動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)； 基于所述歷史工藝試驗(yàn)數(shù)據(jù)及其歷史去除率，構(gòu)建研磨階段與敏感特征集間的匹配關(guān)系；基于所述研磨階段與敏感特征集間的匹配關(guān)系，確定所述研磨過(guò)程動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)在其待測(cè)研磨階段的待測(cè)敏感特征集；將所述研磨過(guò)程動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)中，所述待測(cè)敏感特征集對(duì)應(yīng)的待測(cè)特征參數(shù)輸入訓(xùn)練好的XGBoost動(dòng)態(tài)修正模型，得到動(dòng)態(tài)修正量； 基于所述動(dòng)態(tài)修正量，更新所述經(jīng)驗(yàn)材料去除率預(yù)測(cè)模型中的經(jīng)驗(yàn)系數(shù)，得到修正后的所述經(jīng)驗(yàn)材料去除率預(yù)測(cè)模型； 通過(guò)修正后的所述經(jīng)驗(yàn)材料去除率預(yù)測(cè)模型，計(jì)算所述研磨過(guò)程動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的去除率預(yù)測(cè)值。

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