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龍圖騰網獲悉上海至純潔凈系統科技股份有限公司;至微半導體(上海)有限公司申請的專利一種酸洗槽去除氣泡裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112717478B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011611009.8，技術領域涉及：B01D19/02；該發明授權一種酸洗槽去除氣泡裝置是由張展;鄧信甫;徐銘;陳佳煒設計研發完成，并于2020-12-30向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種酸洗槽去除氣泡裝置在說明書摘要公布了：本發明公開了一種酸洗槽去除氣泡裝置，涉及到去氣泡技術領域，包括幫浦、酸液過濾器、分流管路、導流結構和破氣泡結構，其中，酸液過濾器位于幫浦的上側，且幫浦連接酸液過濾器，酸液過濾器的出液口連接分流管路；分流管路包括第一管路和第二管路，第一管路的一端與出液口連接，第一管路的另一端與第二管路的一端連接，其中，第二管路的一端內壁上設有一液體回流面和設于液體回流面下側的破氣泡結構，第二管路的一端內壁上還設有一導流結構，導流結構與破氣泡結構相正對。其利用簡易的分流管路與幫浦的推動力作用，即可產生將液泡分離的作用，達成在輸送各種溶劑或是混合溶液至晶圓濕法工藝區移除氣泡的具體作用。

本發明授權一種酸洗槽去除氣泡裝置在權利要求書中公布了：1.一種酸洗槽去除氣泡裝置，其特征在于，包括幫浦、酸液過濾器、分流管路、導流結構和破氣泡結構，其中，所述酸液過濾器位于所述幫浦的上側，且所述幫浦連接所述酸液過濾器，所述酸液過濾器的出液口連接所述分流管路； 所述分流管路包括第一管路和第二管路，所述第一管路的一端與所述出液口連接，所述第一管路的另一端與第二管路的一端連接，其中，所述第二管路的一端內壁上設有一液體回流面和設于所述液體回流面下側的破氣泡結構，所述第二管路的一端內壁上還設有一導流結構，所述導流結構與所述破氣泡結構相正對； 還包括加熱緩沖器，所述加熱緩沖器位于所述幫浦的上側，所述加熱緩沖器連接所述幫浦和所述酸液過濾器；還包括主流管路，所述加熱緩沖器與所述酸液過濾器之間、所述加熱緩沖器與所述幫浦之間以及所述幫浦與所述酸液過濾器之間分別通過一所述主流管路連接； 所述破氣泡結構的上端所在的位置高于所述導流結構的最高點，所述破氣泡結構呈一斜切的塊狀結構，所述塊狀結構的下端具有第一尖端，所述塊狀結構靠近所述導流結構的一側具有第二尖端，所述第二尖端向上突起并高于所述導流結構的最高點所在的位置。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海至純潔凈系統科技股份有限公司;至微半導體(上海)有限公司，其通訊地址為：200241 上海市閔行區紫海路170號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。