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龍圖騰網(wǎng)獲悉臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司申請的專利影像感測器結(jié)構(gòu)及其制造方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN113140582B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號(hào)為：202110052276.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H10F39/18；該發(fā)明授權(quán)影像感測器結(jié)構(gòu)及其制造方法是由林津裕;廖耕潁;葉書佑;陳柏仁;董懷仁;陳咸利設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-01-15向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本影像感測器結(jié)構(gòu)及其制造方法在說明書摘要公布了：一種影像感測器結(jié)構(gòu)及其制造方法，該影像感測器結(jié)構(gòu)包括半導(dǎo)體元件、形成于半導(dǎo)體基板中的多個(gè)影像感測元件、形成于半導(dǎo)體基板上的內(nèi)連接結(jié)構(gòu)，及半導(dǎo)體基板上的復(fù)合網(wǎng)格結(jié)構(gòu)。復(fù)合網(wǎng)格結(jié)構(gòu)包括鎢網(wǎng)格、鎢網(wǎng)格上方的氧化物網(wǎng)格，及將鎢網(wǎng)格與氧化物網(wǎng)格間隔開的粘附增強(qiáng)網(wǎng)格。

本發(fā)明授權(quán)影像感測器結(jié)構(gòu)及其制造方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種影像感測器結(jié)構(gòu)，其特征在于，包含： 一半導(dǎo)體基板； 多個(gè)影像感測元件，形成于該半導(dǎo)體基板中； 一內(nèi)連接結(jié)構(gòu)，其形成于該半導(dǎo)體基板上；以及 一復(fù)合網(wǎng)格結(jié)構(gòu)，于該半導(dǎo)體基板上，其中該復(fù)合網(wǎng)格結(jié)構(gòu)包含： 一鎢網(wǎng)格，包含多個(gè)鎢網(wǎng)格線，每一所述多個(gè)鎢網(wǎng)格線具有一第一厚度，且具有隨著距該半導(dǎo)體基板的一距離增加而減少的寬度； 形成于該鎢網(wǎng)格上的一氧化物網(wǎng)格，該氧化物網(wǎng)格包含多個(gè)氧化物網(wǎng)格線，每一所述多個(gè)氧化物網(wǎng)格線具有一第二厚度，且包含一主分段及一漸縮頂部分段，其中該氧化物網(wǎng)格的該第二厚度大于該鎢網(wǎng)格的該第一厚度，且該氧化物網(wǎng)格的材質(zhì)包含氧化硅SiO2或氧化鉿HfO2； 一粘附增強(qiáng)網(wǎng)格，夾設(shè)于該鎢網(wǎng)格與該氧化物網(wǎng)格之間，是由一氮化物材料形成，且包含多個(gè)粘附增強(qiáng)網(wǎng)格線，其中每一所述多個(gè)粘附增強(qiáng)網(wǎng)線具有一第三厚度，且具有隨著距該半導(dǎo)體基板的一距離增加而增加的寬度，其中該粘附增強(qiáng)網(wǎng)格的該第三厚度小于該鎢網(wǎng)格的該第一厚度，該粘附增強(qiáng)網(wǎng)格與該鎢網(wǎng)格形成一金屬氮化物界面，且與該氧化物網(wǎng)格形成一氮化物氧化物界面；及 一阻障網(wǎng)格，設(shè)置于該鎢網(wǎng)格與該半導(dǎo)體基板之間，且位于該粘附增強(qiáng)網(wǎng)格之下，其中該阻障網(wǎng)格是由一含鈦材料形成，該阻障網(wǎng)格的該含鈦材料不同于該粘附增強(qiáng)網(wǎng)格的該氮化物材料。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司，其通訊地址為：中國臺(tái)灣新竹市新竹科學(xué)工業(yè)園區(qū)力行六路八號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。