ASML荷蘭有限公司H·A·J·克瑞姆獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉ASML荷蘭有限公司申請的專利確定采樣方案的方法、相關聯的設備以及計算機程序獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115315662B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202180023410.6，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權確定采樣方案的方法、相關聯的設備以及計算機程序是由H·A·J·克瑞姆;P·A·J·廷尼曼斯;J·A·L·J·瑞馬克;J·S·威爾登伯格設計研發完成，并于2021-03-10向國家知識產權局提交的專利申請。
本確定采樣方案的方法、相關聯的設備以及計算機程序在說明書摘要公布了：公開了一種確定采樣方案的方法。該方法包括獲得并行傳感器描述，基于所述并行傳感器描述和潛在量測位置來識別多個候選獲取配置。在評估度量方面評估每個所述候選獲取配置，并且基于所述評估來選擇候選獲取配置。將所選擇的獲取配置的相應量測位置添加到采樣方案。
本發明授權確定采樣方案的方法、相關聯的設備以及計算機程序在權利要求書中公布了：1.一種確定采樣方案的方法，所述采樣方案描述襯底上的一組潛在的量測位置之中的量測位置的真子集；所述方法包括： 獲得并行傳感器描述，其描述能夠執行并行量測的多個量測傳感器的布置； 基于所述并行傳感器描述和所述潛在量測位置來識別多個候選獲取配置，其中每個候選獲取配置描述所述傳感器描述相對于所述襯底的特定位置，并且因此描述所述潛在量測位置中的相應的一個或多個量測位置； 在評估度量方面評估所述候選獲取配置中的至少一些； 基于所述評估來選擇候選獲取配置；并且 將所述采樣方案限定為包括針對于每個所選擇的獲取配置的相應量測位置的方案。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人ASML荷蘭有限公司，其通訊地址為：荷蘭維德霍溫；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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