京東方科技集團股份有限公司;北京京東方技術開發有限公司史迎利獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉京東方科技集團股份有限公司;北京京東方技術開發有限公司申請的專利MEMS開關及其制作方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115707350B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202180001413.X,技術領域涉及:H01P1/15;該發明授權MEMS開關及其制作方法是由史迎利設計研發完成,并于2021-06-03向國家知識產權局提交的專利申請。
本MEMS開關及其制作方法在說明書摘要公布了:本公開實施例涉及一種柔性MEMS開關,其中,包括MEMS主體和位于所述MEMS主體外部的封裝體,所述封裝體包括第一柔性蓋板和第二柔性蓋板,所述第一柔性蓋板和所述第二柔性蓋板分別罩設于所述MEMS主體的相對的兩側,且所述第一柔性蓋板與所述MEMS主體之間形成第一腔體,所述第二柔性蓋板與所述MEMS主體之間形成第二腔體。本公開實施例還涉及一種柔性MEMS開關的制作方法。
本發明授權MEMS開關及其制作方法在權利要求書中公布了:1.一種柔性MEMS開關,其中,包括MEMS主體和位于所述MEMS主體外部的封裝體,所述封裝體包括第一柔性蓋板和第二柔性蓋板,所述第一柔性蓋板和所述第二柔性蓋板分別罩設于所述MEMS主體的相對的兩側,且所述第一柔性蓋板與所述MEMS主體之間形成第一腔體,所述第二柔性蓋板與所述MEMS主體之間形成第二腔體; 所述MEMS主體包括柔性基底和位于所述柔性基底上的功能器件,所述柔性基底包括用于設置所述功能器件的第一部分,以及位于圍設于所述第一部分外部的第二部分,所述第二部分為環形結構用于與所述封裝體連接,所述第一部分包括面向所述第二部分的多個側壁,所述多個側壁中至少包括第一側壁,所述第一側壁沿其延伸方向的部分區域向遠離所述第二部分的方向凹陷,以使得所述第一側壁與所述第二部分的對應的部分之間具有間隙。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人京東方科技集團股份有限公司;北京京東方技術開發有限公司,其通訊地址為:100015 北京市朝陽區酒仙橋路10號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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