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龍圖騰網(wǎng)獲悉中國石油化工股份有限公司;中石化(大連)石油化工研究院有限公司申請的專利一種CVD金剛石膜及其制備方法和應(yīng)用獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN116837345B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202210290352.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C16/27；該發(fā)明授權(quán)一種CVD金剛石膜及其制備方法和應(yīng)用是由王博;張長安;趙利民;袁俊;宋永一設(shè)計研發(fā)完成，并于2022-03-23向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種CVD金剛石膜及其制備方法和應(yīng)用在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種CVD金剛石膜及其制備方法和應(yīng)用。該CVD金剛石膜包括依次交替排列的剛性生長層和柔性增韌層；所述剛性生長層為SP3雜化金剛石相；所述柔性增韌層為SP3雜化金剛石相和SP2雜化石墨相的混合相；所述剛性生長層用來保證CVD金剛石膜的硬度，所述柔性增韌層用來保證CVD金剛石膜的柔韌性。本發(fā)明提供的CVD金剛石膜可以在不損失金剛石硬度的前提下有效提高其韌性，能夠同時兼顧C(jī)VD金剛石膜硬度與韌性，擴(kuò)展了產(chǎn)品的應(yīng)用領(lǐng)域及應(yīng)用條件，提高了使用壽命。

本發(fā)明授權(quán)一種CVD金剛石膜及其制備方法和應(yīng)用在權(quán)利要求書中公布了：1.一種CVD金剛石膜的制備方法，所述CVD金剛石膜包括依次交替排列的剛性生長層和柔性增韌層；所述剛性生長層為SP3雜化金剛石相；所述柔性增韌層為SP3雜化金剛石相和SP2雜化石墨相的混合相；所述制備方法包括： （1）采用第一生長工藝在基體上生長第一相，所述第一生長工藝為將第一氣相流和第二氣相流分別通入CVD金剛石生長爐，設(shè)置CVD金剛石生長爐參數(shù)為第一生長工藝參數(shù)，并運(yùn)行第一生長時長； （2）采用第二處理工藝對步驟（1）所得物料進(jìn)行處理，所述第二處理工藝為以第一生長工藝中的第一氣相流的流量為基準(zhǔn)，降低第一生長工藝中的第一氣相流的流量，調(diào)整CVD金剛石生長爐參數(shù)為第二處理工藝參數(shù)，并運(yùn)行第二處理時長； （3）循環(huán)操作步驟（1）和步驟（2），循環(huán)次數(shù)為n，得到剛性生長層； （4）采用第三生長工藝，在剛性生長層上生長柔性增韌層；第三生長工藝為以第一生長工藝中的第一氣相流的流量為基準(zhǔn)，增加第一生長工藝中的第一氣相流的流量，調(diào)整CVD金剛石生長爐參數(shù)為第三生長工藝參數(shù)，并運(yùn)行第三生長時長； （5）循環(huán)操作步驟（1）-步驟（4），循環(huán)次數(shù)為m，得到所述的CVD金剛石膜； 步驟（1）中所述第一生長工藝參數(shù)為：生長爐壓力為2000~5000Pa，燈絲電流強(qiáng)度為630~690A，所述燈絲溫度為2200~2700℃，襯底溫度為750~1050℃，燈絲與襯底之間距離為4~8mm； 步驟（2）中所述第二處理工藝參數(shù)為：生長爐壓力為2000~5000Pa，燈絲電流強(qiáng)度為630~690A，所述燈絲溫度為2200~2700℃，襯底溫度為750~1050℃，燈絲與襯底之間距離為4~8mm； 步驟（4）中所述第三生長工藝參數(shù)為：生長爐壓力為1000~3000Pa，燈絲電流強(qiáng)度為580~650A，所述燈絲溫度為2000~2400℃，襯底溫度為700~1050℃，燈絲與襯底之間距離為4~8mm。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人中國石油化工股份有限公司;中石化(大連)石油化工研究院有限公司，其通訊地址為：100020 北京市朝陽區(qū)朝陽門北大街22號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。