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龍圖騰網獲悉上海集成電路材料研究院有限公司申請的專利一種電子束直寫裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN118859638B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202410859391.6，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權一種電子束直寫裝置是由劉強;王詩男設計研發完成，并于2023-11-28向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種電子束直寫裝置在說明書摘要公布了：本發明提供一種電子束直寫裝置，包括控制模塊以及至少一個電子束源輸出模塊；控制模塊用于產生i種控制信號；i為大于等于2的整數；各電子束源輸出模塊中任一電子束源輸出模塊在同時接收到i種控制信號時開啟，進而發射對應的電子束；其中，各電子束源輸出模塊均包括接收單元、束流強度調控單元以及輸出單元；束流強度調控單元用于提供強度調控信號；各接收單元的i個控制端在同時接收到i種控制信號時產生開啟信號；各輸出單元基于接收的開啟信號以及強度調控信號發射對應的電子束并通過強度調控信號調控電子束的束流強度。本發明有效解決了電子束源陣列中各電子束源的束流強度不一致導致的直寫時間不一致，均勻性不一致等問題。

本發明授權一種電子束直寫裝置在權利要求書中公布了：1.一種電子束直寫裝置，其特征在于，所述電子束直寫裝置包括：控制模塊以及至少一個電子束源輸出模塊； 所述控制模塊用于產生i種控制信號；i為大于等于2的整數； 各電子束源輸出模塊分別連接控制模塊；各電子束源輸出模塊中任一電子束源輸出模塊在同時接收到i種控制信號時開啟，進而發射對應的電子束； 其中，各電子束源輸出模塊均包括接收單元、束流強度調控單元以及輸出單元；所述束流強度調控單元用于提供強度調控信號；各接收單元的i個控制端分別接收對應的控制信號，并在同時接收到i種控制信號時產生開啟信號；各輸出單元分別接收對應的開啟信號以及對應的強度調控信號，基于接收的所述開啟信號以及所述強度調控信號發射對應的電子束并通過所述強度調控信號調控所述電子束的束流強度； 其中，所述束流強度調控單元包括第三晶體管、第四晶體管、第二可變電阻器、第一電阻器以及第二電阻器； 所述第三晶體管的第一端接收第一調控信號，第二端接收第二調控信號，第三端連接所述第二可變電阻器的調節端； 所述第二可變電阻器的第一固定端接地，第二固定端經由所述第一電阻器連接至第三電壓源； 所述第四晶體管的第一端連接所述第二可變電阻器的第二固定端，第二端經由所述第二電阻器接地，第三端輸出所述強度調控信號。

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