廣德特旺光電材料有限公司侯閩渤獲國(guó)家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉廣德特旺光電材料有限公司申請(qǐng)的專利一種ITO濺射靶材的制備方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN118460974B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202410606823.2,技術(shù)領(lǐng)域涉及:C23C14/34;該發(fā)明授權(quán)一種ITO濺射靶材的制備方法是由侯閩渤設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2024-05-16向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本一種ITO濺射靶材的制備方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明公開了一種ITO濺射靶材的制備方法,將不同粒徑的氧化銦粉體、氧化錫粉體和納米氧化錫制成漿料或者溶膠后,經(jīng)過球磨處理,得到ITO漿料,再澆注到模具中成型,在常壓氧氣氣氛下高溫?zé)Y(jié)得到ITO濺射靶材。本發(fā)明制備得到的ITO濺射靶材均勻性好、密度高,電阻率低,能夠保證顯示屏的均勻性和一致性,而且該方法具有成本低、生產(chǎn)效率高的優(yōu)點(diǎn)。
本發(fā)明授權(quán)一種ITO濺射靶材的制備方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種ITO濺射靶材的制備方法,其特征在于,包括以下步驟: S1、將D50為1.8~2.0μm的氧化銦粉體加入水中,攪拌分散均勻,然后加入乙酸,攪拌10~20min,然后加入氨水至pH為6~8,再加入分散劑,攪拌分散均勻,得到氧化銦漿料;氧化銦粉體、水、乙酸和分散劑的質(zhì)量比為40~50:50~60:1~5:2~4; S2、將D50為1.4~1.6μm的氧化錫粉體加入水中,攪拌分散均勻,然后加入乙酸,攪拌10~20min,然后加入氨水至pH為6~8,再加入分散劑,得到氧化錫漿料;氧化錫粉體、水、乙酸和分散劑的質(zhì)量比為40~50:50~60:1~5:2~4; S3、將納米氧化錫和分散劑加入水中,超聲分散均勻,得到納米氧化錫溶膠;所述納米氧化錫的粒徑為30~60nm; S4、將所述氧化銦漿料與氧化錫漿料、納米氧化錫溶膠混合后進(jìn)行球磨,得到ITO漿料,所述氧化銦粉體、氧化錫粉體、納米氧化錫的質(zhì)量比為90:9.5~9.9:0.1~0.5;然后向所述ITO漿料中加入粘結(jié)劑混合均勻,澆注到模具中成型后,先在惰性氣氛下高溫脫脂,然后在常壓氧氣氣氛下高溫?zé)Y(jié),得到ITO濺射靶材;所述高溫?zé)Y(jié)的溫度為1500~1600℃,時(shí)間為4~10h。
如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人廣德特旺光電材料有限公司,其通訊地址為:242000 安徽省宣城市廣德市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)東區(qū)廣安路11號(hào);或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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