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龍圖騰網獲悉深圳市路維光電股份有限公司申請的專利檢測掩膜版圖形位置精度的方法、裝置及設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN118330987B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202410615602.1，技術領域涉及：G03F1/84；該發明授權檢測掩膜版圖形位置精度的方法、裝置及設備是由司繼偉;劉玉闖;雷蒙;陳德澆;杜武兵設計研發完成，并于2024-05-17向國家知識產權局提交的專利申請。

本檢測掩膜版圖形位置精度的方法、裝置及設備在說明書摘要公布了：本申請公開了檢測掩膜版圖形位置精度的方法、裝置及設備，涉及精度檢測領域，方法包括：選取圖像顯示區域的一個初始圖形；以初始圖形的中心位置作為原點，在圖像顯示區域中沿垂直于光刻機的曝光方向步進，每隔n個選取間距在圖像顯示區域中取出一個與初始圖形相同的圖形，直至完成圖像顯示區域的步進，獲得多個重復的圖形，并測量每個重復的圖形的中心位置的坐標信息，得到由多個圖形的坐標信息構成的第一坐標集；在掩膜版的光刻圖檔查找出與第一坐標集對應的第二坐標集；由第一坐標集減去第二坐標集的坐標信息，獲得每隔n個選取間距的圖形的偏差值；由偏差值生成數據分布圖，依據數據分布圖的數據分布狀態，確定掩膜版圖形位置精度的檢測結果。

本發明授權檢測掩膜版圖形位置精度的方法、裝置及設備在權利要求書中公布了：1.一種檢測掩膜版圖形位置精度的方法，其特征在于，方法包括： 選取掩膜版的圖像顯示區域的一個初始圖形； 以初始圖形的中心位置作為原點，在圖像顯示區域中沿垂直于光刻機的曝光方向步進，每隔n個選取間距在圖像顯示區域中取出一個與初始圖形相同的圖形，直至完成圖像顯示區域的步進，獲得多個重復的圖形，并測量每個重復的圖形的中心位置的坐標信息，得到由多個圖形的坐標信息構成的第一坐標集；其中，n為正整數，n的數值是由光刻機的掃描帶寬和圖像顯示區域的尺寸參數確定的； 獲取掩膜版的光刻圖檔，在光刻圖檔查找出與第一坐標集的坐標信息對應的第二坐標集； 由第一坐標集的坐標信息減去第二坐標集的坐標信息，獲得每隔n個選取間距的圖形的偏差值； 由偏差值生成數據分布圖，依據數據分布圖的數據分布狀態，確定掩膜版圖形位置精度的檢測結果； 所述方法還包括： 選取m個數據點作為一個檢測周期，結合檢測周期的長度和圖像顯示區域數據點的總數量，確定出圖像顯示區域的檢測周期的總數量；其中，m為正整數； 計算每個檢測周期的平均偏差值，結合每個檢測周期的平均偏差值計算出相鄰兩個檢測周期的平均偏差值的差值； 根據差值與選取間距比值的范圍，確定出掩膜版在檢測周期處的圖像顯示區域的帶狀mura的風險狀態；其中選取間距是指相鄰兩個子像素重復間距。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人深圳市路維光電股份有限公司，其通訊地址為：518000 廣東省深圳市前海深港合作區南山街道夢海大道5035號前海華潤金融中心T5寫字樓801；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。