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龍圖騰網(wǎng)獲悉華中科技大學(xué)申請(qǐng)的專(zhuān)利一種正交線光譜共焦輪廓測(cè)量傳感器及抗振方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN118729985B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202410690228.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01B11/24；該發(fā)明授權(quán)一種正交線光譜共焦輪廓測(cè)量傳感器及抗振方法是由安子民;劉曉軍;王帥設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-05-30向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本一種正交線光譜共焦輪廓測(cè)量傳感器及抗振方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明屬于精密測(cè)量相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域，并公開(kāi)了一種正交線光譜共焦掃描輪廓測(cè)量傳感器及抗振方法。該傳感器包括光源模塊、第一、第二方向線色散共焦成像模塊，光源模塊用于產(chǎn)生兩束正交的準(zhǔn)直線白光；兩束正交的準(zhǔn)直線白光分別進(jìn)入第一、第二方向線色散共焦成像模塊，以此掃描待測(cè)樣品表面并成像，進(jìn)而獲得兩個(gè)正交角度的待測(cè)樣品表面輪廓；第一方向線色散共焦成像模塊包括第一線色散共焦結(jié)構(gòu)、第二狹縫、第一成像單元；第二方向線色散共焦成像模塊包括第二線色散共焦結(jié)構(gòu)、第三狹縫和第二成像單元；第二狹縫和第三狹縫的方向分別與第一狹縫中的兩正交狹縫的方向相同。通過(guò)本發(fā)明，解決線掃描表面測(cè)量過(guò)程中的振動(dòng)影響測(cè)量精度的問(wèn)題。

本發(fā)明授權(quán)一種正交線光譜共焦輪廓測(cè)量傳感器及抗振方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種正交線光譜共焦輪廓測(cè)量傳感器，其特征在于，該傳感器包括光源模塊、第一方向線色散共焦成像模塊和第二方向線色散共焦成像模塊，其中， 所述光源模塊用于產(chǎn)生兩束正交準(zhǔn)直線白光；兩束正交的準(zhǔn)直線白光分別進(jìn)入所述第一方向線色散共焦成像模塊和第二方向線色散共焦成像模塊獲取待測(cè)樣品（7）表面正交方向的線輪廓； 所述第一方向線色散共焦成像模塊包括第一線色散共焦結(jié)構(gòu)、第二狹縫（11）、第一成像單元，第一線色散共焦結(jié)構(gòu)接受來(lái)自所述光源模塊的一束準(zhǔn)直線白光并將其色散聚焦在待測(cè)樣品（7）表面作為第二方向測(cè)量線，該第二方向測(cè)量線經(jīng)待測(cè)樣品（7）表面反射后回到所述第一線色散共焦結(jié)構(gòu)被準(zhǔn)直聚焦，然后經(jīng)所述第二狹縫（11）進(jìn)入所述第一成像單元成像形成第二方向線輪廓； 所述第二方向線色散共焦成像模塊包括第二線色散共焦結(jié)構(gòu)、第三狹縫（20）和第二成像單元，所述第二線色散共焦結(jié)構(gòu)接受來(lái)自所述光源模塊的另外一束準(zhǔn)直線白光并將其色散聚焦在待測(cè)樣品（7）表面作為與所述第二方向測(cè)量線正交的第一方向測(cè)量線，該第一方向測(cè)量線經(jīng)待測(cè)樣品（7）表面反射后回到所述第二線色散共焦結(jié)構(gòu)被準(zhǔn)直聚焦，經(jīng)所述第三狹縫（20）進(jìn)入所述第二成像單元成像形成第一方向線輪廓； 所述第二狹縫（11）和第三狹縫（20）的方向分別與所述光源模塊中設(shè)置的第一狹縫（2）中的兩條正交的狹縫的方向相同；所述傳感器與待測(cè)樣品（7）相對(duì)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)對(duì)待測(cè)樣品（7）表面的掃描，掃描的方向與第二狹縫（11）和第三狹縫（20）的方向相同。

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