常州艾恩希納米鍍膜科技有限公司馮磊獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉常州艾恩希納米鍍膜科技有限公司申請的專利一種用于CVD反應爐的載具保護裝置獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223296780U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202422709902.4,技術領域涉及:H01L21/673;該實用新型一種用于CVD反應爐的載具保護裝置是由馮磊設計研發完成,并于2024-11-07向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種用于CVD反應爐的載具保護裝置在說明書摘要公布了:本實用新型公開了一種用于CVD反應爐的載具保護裝置,包括保護蓋和圓環,所述保護蓋表面設置有折邊,所述折邊表面固定有第一滑軌,所述圓環表面固定有第二滑軌,所述第一滑軌表面滑動連接有多個第一滑塊,所述第二滑軌表面滑動連接有多個第二滑塊,所述第一滑塊表面固定有第一側板,所述第一側板表面固定有第一轉軸,所述第一轉軸表面滑動連接有套殼,所述套殼內壁滑動連接有延伸板,所述第二滑塊表面固定有第二側板,所述第二側板表面固定有第二轉軸,所述第二轉軸貫穿延伸板,所述延伸板與第二轉軸表面滑動連接,所述第二轉軸表面開設有安裝槽。本實用新型具備能夠根據需要改變圓孔位置,從而適應更多型號載具與拉桿保護需求的優點。
本實用新型一種用于CVD反應爐的載具保護裝置在權利要求書中公布了:1.一種用于CVD反應爐的載具保護裝置,包括保護蓋1和圓環13,其特征在于:所述保護蓋1表面設置有折邊2,所述折邊2表面固定有第一滑軌3,所述圓環13表面固定有第二滑軌12,所述第一滑軌3表面滑動連接有多個第一滑塊4,所述第二滑軌12表面滑動連接有多個第二滑塊11,所述第一滑塊4表面固定有第一側板5,所述第一側板5表面固定有第一轉軸6,所述第一轉軸6表面滑動連接有套殼7,所述套殼7內壁滑動連接有延伸板8,所述第二滑塊11表面固定有第二側板9,所述第二側板9表面固定有第二轉軸10,所述第二轉軸10貫穿延伸板8,所述延伸板8與第二轉軸10表面滑動連接,所述第二轉軸10表面開設有安裝槽,安裝槽內壁固定有彈簧14,所述彈簧14表面固定有U形板15,所述U形板15表面轉動連接有轉輥16。
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