拓荊科技(上海)有限公司董文惠獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉拓荊科技(上海)有限公司申請的專利一種噴淋板組件及薄膜沉積設備獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223292638U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422790233.8，技術領域涉及：C23C16/455；該實用新型一種噴淋板組件及薄膜沉積設備是由董文惠設計研發完成，并于2024-11-14向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種噴淋板組件及薄膜沉積設備在說明書摘要公布了：本實用新型提供了一種噴淋板組件及薄膜沉積設備，噴淋板組件包括噴頭上板、多個云母片和固設在噴頭上板的隔熱件，多個云母片沿噴頭上板的徑向間隔固設在噴頭上板的頂端；隔熱件包括主體和多個用于隔絕相鄰兩個云母片的隔絕部，隔絕部的頂端與主體固定連接，主體和相鄰的兩個隔絕部和噴頭上板圍合形成冷卻腔，冷卻腔具有多個，且多個冷卻腔內分別對應設有云母片；其中，向多個冷卻腔通入冷卻氣體以冷卻多個云母片。本申請通過多個云母片加熱，以增加噴淋板的導熱效率和穩定性；隔絕部隔絕多個云母片，并與主體和噴頭上板圍合形成多個冷卻腔，每個云母片對應位于每個冷卻腔內，冷卻氣體通入冷卻腔內對云母片降溫，以提高噴淋板組件的散熱效果。
本實用新型一種噴淋板組件及薄膜沉積設備在權利要求書中公布了：1.一種噴淋板組件，其特征在于，包括： 噴頭上板； 多個云母片，所述多個云母片沿所述噴頭上板的徑向間隔固設在所述噴頭上板的頂端； 固設在所述噴頭上板的隔熱件，所述隔熱件包括主體和多個用于隔絕相鄰兩個所述云母片的隔絕部，所述隔絕部的頂端與所述主體固定連接，所述主體和相鄰的兩個所述隔絕部和所述噴頭上板圍合形成冷卻腔，所述冷卻腔具有多個，且所述多個冷卻腔內分別對應設有所述云母片； 其中，向所述多個冷卻腔通入冷卻氣體以冷卻所述多個云母片。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人拓荊科技(上海)有限公司，其通訊地址為：201306 上海市浦東新區中國(上海)自由貿易試驗區臨港新片區鴻音路1211號10幢304室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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