中國科學院合肥物質科學研究院許永建獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中國科學院合肥物質科學研究院申請的專利一種電感耦合等離子體源的關鍵參數設計與優化方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120217803B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510699312.4,技術領域涉及:G06F30/23;該發明授權一種電感耦合等離子體源的關鍵參數設計與優化方法是由許永建;王志豪;謝亞紅;梁立振;胡純棟設計研發完成,并于2025-05-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種電感耦合等離子體源的關鍵參數設計與優化方法在說明書摘要公布了:本發明公開了一種電感耦合等離子體源的關鍵參數設計與優化方法,涉及電感耦合等離子體源技術領域,包括:根據電感耦合等離子體源設計目標,建立Plackett?Burman正交矩陣。通過有限元分析模型計算響應值系數矩陣,建立一階線性回歸方程,篩選顯著變量并根據主效應變量的系數計算并建立Box?Behnken設計矩陣。通過有限元分析模型計算響應值系數矩陣,建立高階多項式歸方程。通過方差分析和三維響應面,確定各顯著變量的重要程度和交互作用。通過求解擬合方程最大值,進而得到電感耦合等離子體源的最佳方案。本發明方案為傳統設計方法無法解決的多目標、多變量等離子體源設計的難題提供了解決方案。
本發明授權一種電感耦合等離子體源的關鍵參數設計與優化方法在權利要求書中公布了:1.一種電感耦合等離子體源的關鍵參數設計與優化方法,其特征在于,包括: S101,獲取設計目標參數,并構建響應值矩陣和潛在變量矩陣,包括:獲取電感耦合等離子體源的設計目標參數,根據設計目標參數構建響應值矩陣;根據設計目標參數,確定電感耦合等離子體源的潛在變量,得到潛在變量矩陣; S102,根據潛在變量構建并化簡Plackett-Burman正交矩陣,化簡矩陣與潛在變量矩陣相乘得到潛在變量設計方案; S103,基于有限元分析模型中的玻爾茲曼模塊和流體模塊迭代計算,并按步驟S102的潛在變量設計方案依次求解響應值系數矩陣; S104,對S103得到的響應值系數矩陣和化簡矩陣,擬合響應值和潛在變量的一階線性回歸方程,并求解其擬合優度; S105,對S104擬合結果采用方差分析識別顯著變量,根據主效應變量的系數計算Box-Behnken設計矩陣,設計矩陣與顯著變量矩陣相乘得到顯著變量設計方案; S106,基于有限元分析模型中的流體模型和玻爾茲曼模型迭代計算,按S105的顯著變量設計方案依次求解響應值系數矩陣; S107,根據S106的響應值系數矩陣和設計矩陣擬合響應值和顯著變量的高階多項式回歸方程,并求解其擬合優度; S108,對S107中建立的高階多項式回歸方程采用方差分析,確定交互項對響應值的作用,求解響應值最大值點,該點即為最佳設計方案。
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