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龍圖騰網獲悉合肥晶合集成電路股份有限公司申請的專利一種研磨方法、裝置和控制系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120206392B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510717305.2，技術領域涉及：B24B37/04；該發明授權一種研磨方法、裝置和控制系統是由邱茹蒙設計研發完成，并于2025-05-30向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種研磨方法、裝置和控制系統在說明書摘要公布了：本發明提供了一種研磨方法、裝置和控制系統，該方法包括：獲取目標研磨頭已研磨的多個晶圓的實際研磨量和實際研磨時間；對多個晶圓的實際研磨量和實際研磨時間進行擬合；獲取準備使用目標研磨頭進行研磨的待研磨晶圓的預設研磨量和預設研磨速率R1；將預設研磨量輸入擬合公式中，得到預測研磨時間；將預設研磨量除以預測研磨時間，得到預測研磨速率R2；計算待研磨晶圓對應的實際研磨速率R3；計算待研磨晶圓對應的實際研磨時間T；使用目標研磨頭、以預設研磨速率R1和實際研磨時間T對待研磨晶圓進行研磨。本方案可以實時改善目標研磨頭對待研磨晶圓的研磨效果。

本發明授權一種研磨方法、裝置和控制系統在權利要求書中公布了：1.一種研磨方法，其特征在于，所述方法應用于包含2個以上研磨頭的研磨機臺，分別將每個研磨頭作為目標研磨頭，然后對每個目標研磨頭分別執行所述方法的各步驟；所述方法包括以下步驟： S1、確定準備使用目標研磨頭對待研磨晶圓進行研磨的起始時刻；獲取所述起始時刻之前已被所述目標研磨頭研磨合格的多個晶圓的實際研磨量和實際研磨時間； S2、按照所述多個晶圓被研磨的時間順序，對所述多個晶圓的實際研磨量和實際研磨時間進行擬合，得到擬合公式； S3、獲取準備使用所述目標研磨頭進行研磨的待研磨晶圓的預設研磨量和預設研磨速率R1； S4、將所述預設研磨量輸入所述擬合公式中，得到預測研磨時間； S5、將所述預設研磨量除以所述預測研磨時間，得到預測研磨速率R2； S6、計算所述待研磨晶圓對應的實際研磨速率R3，其中，R3=R1+W*R1-R2，W表示預設的權重； S7、計算所述待研磨晶圓對應的實際研磨時間T，其中，T=THKtargetR3，THKtarget表示所述預設研磨量； S8、使用所述目標研磨頭、以所述預設研磨速率R1和所述實際研磨時間T對所述待研磨晶圓進行研磨。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人合肥晶合集成電路股份有限公司，其通訊地址為：230012 安徽省合肥市新站區合肥綜合保稅區內西淝河路88號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。