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龍圖騰網獲悉蘇州賽騰精密電子股份有限公司申請的專利晶圓分片移動在線檢測裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120453202B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510918310.X，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權晶圓分片移動在線檢測裝置是由孫豐;田斌設計研發完成，并于2025-07-03向國家知識產權局提交的專利申請。

本晶圓分片移動在線檢測裝置在說明書摘要公布了：本申請公開一種晶圓分片移動在線檢測裝置，包括：放置機構；取片機構，包括吸取組件、第一驅動件、第一吹氣口、第二吹氣口和移動組件，吸取組件的吸取平面具有垂直于第一方向的吸取位置和垂直于豎直方向的放置位置；第一驅動件與吸取組件相連；第一吹氣口的形狀為圓形，第二吹氣口的形狀為扁長形；移動組件與吸取組件相連；沿第一方向延伸且移動方向相同、移動速度相等的第一傳送部和第二傳送部，第一傳送部和第二傳送部之間具有預定長度的間隙；吸取組件位于第一傳送部的上方；分別固定設置在間隙上方和下方的兩個相機；分別設置在間隙上方和下方的第一光源和第二光源。該晶圓分片移動在線檢測裝置能實現無遮擋的檢測，并且能實現快速取片。

本發明授權晶圓分片移動在線檢測裝置在權利要求書中公布了：1.一種晶圓分片移動在線檢測裝置，其特征在于，包括： 用于放置晶圓的放置機構，所述放置機構內的晶圓表面垂直于第一方向； 用于吸取晶圓的取片機構，包括吸取組件、第一驅動件、第一吹氣口、第二吹氣口和移動組件，所述吸取組件具有平行于晶圓表面的吸取平面，所述吸取平面具有垂直于第一方向的吸取位置和垂直于豎直方向的放置位置；所述第一驅動件與所述吸取組件相連，用于驅動所述吸取組件繞第二方向延伸的旋轉軸旋轉，使所述吸取平面在所述吸取位置和放置位置之間切換；所述第一方向、第二方向和豎直方向兩兩相互垂直；所述第一吹氣口和第二吹氣口在第二方向上分別連接于所述吸取組件的兩側；所述第一吹氣口的形狀為圓形，所述第二吹氣口的形狀為扁長形；所述移動組件與所述吸取組件相連，用于驅動所述吸取組件在所述第一方向和豎直方向上移動； 沿第一方向延伸且移動方向相同、移動速度相等的第一傳送部和第二傳送部，所述第一傳送部和第二傳送部之間具有預定長度的間隙；所述預定長度小于所述晶圓的半徑；所述第一傳送部位于所述放置機構和第二傳送部之間；所述吸取組件位于所述第一傳送部的上方； 分別固定設置在所述間隙上方和下方的兩個相機； 分別設置在所述間隙上方和下方的第一光源和第二光源。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人蘇州賽騰精密電子股份有限公司，其通訊地址為：215124 江蘇省蘇州市吳中區郭巷街道淞葭路585號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。