香港科技大學(廣州)吳朝陽獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉香港科技大學(廣州)申請的專利一種解碼設備底座與解碼設備獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223296777U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發(fā)布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請?zhí)?專利號為：202521561267.8，技術領域涉及：H01L21/67；該實用新型一種解碼設備底座與解碼設備是由吳朝陽;李季;陳雪娥;熊威;徐巍設計研發(fā)完成，并于2025-07-25向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種解碼設備底座與解碼設備在說明書摘要公布了：本申請涉及半導體制造技術領域，具體公開了一種解碼設備底座與解碼設備；其中，解碼設備底座包括：物料臺；所述物料臺上設置有多個不同直徑的第一樣品槽；所述物料臺上設置有解碼區(qū)域；所述解碼區(qū)域與各個所述第一樣品槽均部分或全部重合。本方案中，晶圓能夠根據(jù)尺寸放置于不同的第一樣品槽內。由于編碼一般位于晶圓的邊緣位置，并且各個第一樣品槽均與解碼區(qū)域相交，因此在放置晶圓時只需相應地將編碼放置在解碼區(qū)域內即可實現(xiàn)將編碼與鏡頭組對應。本方案提供的解碼設備底座能夠供不同尺寸的晶圓放置，并且通過第一樣品槽為工作人員提供了放置區(qū)域的限制，從而能夠減少對設備數(shù)量和鏡頭組數(shù)量的要求，降低設備成本以及提升工作效率。
本實用新型一種解碼設備底座與解碼設備在權利要求書中公布了：1.一種解碼設備底座，其特征在于，包括：物料臺（10）； 所述物料臺（10）上設置有多個不同直徑的第一樣品槽（11）； 所述物料臺（10）上設置有解碼區(qū)域（12）； 所述解碼區(qū)域（12）與各個所述第一樣品槽（11）均部分或全部重合。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯(lián)系本專利的申請人或專利權人香港科技大學(廣州)，其通訊地址為：511453 廣東省廣州市南沙區(qū)篤學路1號；或者聯(lián)系龍圖騰網官方客服，聯(lián)系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關數(shù)據(jù)和信息，力求客觀、公正，但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發(fā)布本報告當日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據(jù)或者憑證。
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