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龍圖騰網(wǎng)獲悉東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社申請(qǐng)的專(zhuān)利基片處理系統(tǒng)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN112420552B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202010805541.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)基片處理系統(tǒng)是由茂木卓;熊谷隆;小田島章;吉村啟佑設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-08-12向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本基片處理系統(tǒng)在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明提供一種基片處理系統(tǒng)。多個(gè)處理腔室并排地配置，并且分別能夠?qū)嵤┗幚怼６鄠€(gè)電源系統(tǒng)單元分別配置在多個(gè)處理腔室的下部，能夠?qū)Ω魈幚砬皇覇为?dú)地供電。本發(fā)明能夠抑制設(shè)置面積。

本發(fā)明授權(quán)基片處理系統(tǒng)在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種基片處理系統(tǒng)，其特征在于： 所述基片處理系統(tǒng)設(shè)置在地面，包括： 基片輸送區(qū)塊； 支承臺(tái)，其包含與所述地面隔開(kāi)間隔的頂板； 配置在所述頂板上，且沿所述基片輸送區(qū)塊的側(cè)面與所述基片輸送區(qū)塊連接的多個(gè)基片處理區(qū)塊；和 配置在所述頂板之下，且與所述多個(gè)基片處理區(qū)塊分別對(duì)應(yīng)的多個(gè)電源系統(tǒng)單元，各電源系統(tǒng)單元構(gòu)成為能夠?qū)?duì)應(yīng)的基片處理區(qū)塊供給電力， 所述頂板包含配置在所述多個(gè)基片處理區(qū)塊之下的第一部分和從所述第一部分向外側(cè)延伸的第二部分， 所述電源系統(tǒng)單元具有電力控制裝置和發(fā)電機(jī)， 所述電力控制裝置配置在所述頂板的所述第一部分之下， 所述發(fā)電機(jī)配置在所述頂板的所述第二部分之下， 所述基片處理系統(tǒng)還包括： 導(dǎo)軌，其配置在所述頂板的所述第二部分的上方，沿所述多個(gè)基片處理區(qū)塊的排列方向延伸；和 懸吊機(jī)構(gòu)，其構(gòu)成為能夠?qū)⑺霭l(fā)電機(jī)中的任一者懸吊于所述導(dǎo)軌，沿所述導(dǎo)軌輸送被懸吊的發(fā)電機(jī)。

如需購(gòu)買(mǎi)、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類(lèi)似專(zhuān)利技術(shù)，可聯(lián)系本專(zhuān)利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話(huà)0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。