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龍圖騰網(wǎng)獲悉ASM IP私人控股有限公司申請(qǐng)的專利用于反應(yīng)器系統(tǒng)的激光器對(duì)準(zhǔn)夾具獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN113667953B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202110520955.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C14/50；該發(fā)明授權(quán)用于反應(yīng)器系統(tǒng)的激光器對(duì)準(zhǔn)夾具是由S.甘古力;T.R.鄧恩;A.金蒂設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-05-13向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本用于反應(yīng)器系統(tǒng)的激光器對(duì)準(zhǔn)夾具在說明書摘要公布了：一種用于反應(yīng)器系統(tǒng)的激光器對(duì)準(zhǔn)夾具，可以用于對(duì)準(zhǔn)反應(yīng)器系統(tǒng)的部件以允許將薄膜均勻沉積到襯底上。激光器對(duì)準(zhǔn)夾具可以包括：蓋組件；以及多個(gè)激光器和傳感器組件。激光器對(duì)準(zhǔn)夾具可以對(duì)準(zhǔn)至少：流動(dòng)控制環(huán)、基座，以及反應(yīng)器系統(tǒng)的側(cè)壁。

本發(fā)明授權(quán)用于反應(yīng)器系統(tǒng)的激光器對(duì)準(zhǔn)夾具在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于反應(yīng)器系統(tǒng)的激光器對(duì)準(zhǔn)夾具，所述反應(yīng)器系統(tǒng)用于在襯底上沉積薄膜，包括： 蓋組件，配置為置于所述反應(yīng)器系統(tǒng)上，所述蓋組件包括觀察窗； 多個(gè)激光器和傳感器組件，設(shè)置在所述蓋組件上； 其中所述反應(yīng)器系統(tǒng)包括： 基座，其中所述基座配置為在其上接收襯底； 基座定位系統(tǒng)，配置為沿著x-y平面移動(dòng)所述基座； 流動(dòng)控制環(huán)，設(shè)置在所述基座的外邊緣上；以及 間隔體板，接觸所述流動(dòng)控制環(huán)且設(shè)置在所述流動(dòng)控制環(huán)的外邊緣上； 其中所述多個(gè)激光器和傳感器組件照射并感測用于確定所述基座、所述流動(dòng)控制環(huán)和所述間隔體板的對(duì)準(zhǔn)的光；并且 其中通過使用所述基座定位系統(tǒng)將所述光用于調(diào)整所述基座的位置。

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